本文關(guān)鍵詞：硅片檢測(cè)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)動(dòng)力學(xué)建模與分析　出處：《華中科技大學(xué)》2015年碩士論文　論文類型：學(xué)位論文

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【摘要】：硅片檢測(cè)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)具有高速、高精度的特點(diǎn),是一種開發(fā)技術(shù)難度大的機(jī)電一體化設(shè)備,對(duì)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的動(dòng)力學(xué)特性提出了非常高的要求。硅片檢測(cè)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)零部件眾多,連接關(guān)系復(fù)雜,其動(dòng)力學(xué)特性對(duì)提高整機(jī)性能有重要影響,因此建立其整機(jī)動(dòng)力學(xué)模型是一件具有挑戰(zhàn)又富有意義的工作。本文對(duì)硅片檢測(cè)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)關(guān)鍵結(jié)構(gòu)進(jìn)行分析,對(duì)導(dǎo)軌立柱進(jìn)行了帶螺栓預(yù)緊力的剛度分析,獲得合適的預(yù)緊力值,通過單向流固耦合分析對(duì)氣浮軸承進(jìn)行了應(yīng)變分析,獲取了氣浮軸承受壓強(qiáng)后的變形情況。通過對(duì)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)結(jié)構(gòu)分析,將其化簡(jiǎn)為三個(gè)子結(jié)構(gòu)并通過連接單元連接。采用理論計(jì)算得到滾動(dòng)導(dǎo)軌副的動(dòng)力學(xué)參數(shù),利用流體有限元軟件辨識(shí)了氣浮軸承的動(dòng)力學(xué)參數(shù),進(jìn)一步在ADAMS中建立起硅片檢測(cè)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的動(dòng)力學(xué)模型,并通過與有限元模型模態(tài)對(duì)比,利用錘擊法對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)進(jìn)行模態(tài)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了模型的正確性。最后通過MATLAB/Simulink建立運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的帶有電流環(huán)、速度環(huán)、位置環(huán)的PID控制系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)基于MATLAB與ADAMS的聯(lián)合仿真。在搭建的聯(lián)合仿真模型基礎(chǔ)上,進(jìn)行了R軸跟隨誤差,承片臺(tái)的軸向跳動(dòng)誤差仿真分析。本文在大量的理論計(jì)算、有限元分析的基礎(chǔ)上建立了硅片檢測(cè)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的多剛體動(dòng)力學(xué)模型,并通過實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證模型的正確性。利用建立的動(dòng)力學(xué)模型進(jìn)行了仿真,獲取了運(yùn)動(dòng)臺(tái)的動(dòng)力學(xué)特性。搭建了機(jī)電聯(lián)合仿真模型,并進(jìn)行了仿真分析。為運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)優(yōu)化和控制策略提供了理論和模型,對(duì)硅片檢測(cè)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)順利研發(fā)具有重要意義。
[Abstract]:In this paper , the dynamic parameters of the moving platform are analyzed with the aid of MATLAB / Simulink , the dynamic parameters of the moving platform are analyzed , and the dynamic characteristics of the moving platform are obtained by means of the finite element software .

【學(xué)位授予單位】：華中科技大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2015
【分類號(hào)】：TN304.12

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3 韓e，

本文編號(hào)：1400971