本文關(guān)鍵詞：四象限傳感器用于激光跟蹤儀光斑偏移量測(cè)量　出處：《哈爾濱工程大學(xué)學(xué)報(bào)》2017年02期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：為了保證激光跟蹤儀的跟蹤速度和跟蹤精度,要求發(fā)現(xiàn)目標(biāo)靶鏡運(yùn)動(dòng)和反映靶鏡位移的四象限傳感器信號(hào)的處理過(guò)程具有快速、準(zhǔn)確的動(dòng)態(tài)響應(yīng)。推導(dǎo)出四象限傳感器在對(duì)角線算法中的輸出信號(hào)與光斑偏移量之間的關(guān)系為超越函數(shù)關(guān)系。針對(duì)超越函數(shù)關(guān)系不易快速解算的難題,結(jié)合激光光斑的特性,采用了泰勒級(jí)數(shù)展開(kāi)算法。使用高精度直角坐標(biāo)測(cè)量機(jī)對(duì)光斑偏移量測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行了驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:該測(cè)量系統(tǒng)實(shí)時(shí)性好,每秒測(cè)量次數(shù)達(dá)到1 050次;測(cè)量精度高,在±400μm測(cè)量范圍內(nèi)測(cè)量精度可達(dá)6μm。該系統(tǒng)可以廣泛應(yīng)用于需要微小位移測(cè)量的相關(guān)領(lǐng)域。
[Abstract]:In order to ensure the tracking speed and tracking accuracy of the laser tracker, it is necessary to find the target mirror motion and the processing process of the four-quadrant sensor signal reflecting the target mirror displacement. The relation between output signal and spot offset of four-quadrant sensor in diagonal algorithm is derived as transcendental function. According to the characteristics of laser spot, the Taylor series expansion algorithm is adopted. The high precision rectangular coordinate measuring machine is used to verify the spot offset measurement system. The experimental results show that the system has good real-time performance. The number of measurements per second was 1,050; The precision of the system is high, and the precision can reach 6 渭 m in the range of 鹵400 渭 m. The system can be widely used in the field of small displacement measurement.
【作者單位】： 北京工業(yè)大學(xué)北京市精密測(cè)控技術(shù)與儀器工程技術(shù)研究中心;
【基金】：國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)專項(xiàng)(2013YQ17053904)
【分類號(hào)】：TH744.5
【正文快照】： 網(wǎng)絡(luò)出版地址:http://www.cnki.net/kcms/detail/23.1390.u.20161114.1036.004.html激光跟蹤儀是一種高精度的便攜式三維坐標(biāo)測(cè)量設(shè)備,用于超大空間幾何量精密測(cè)量和動(dòng)態(tài)軌跡測(cè)量[1]。激光跟蹤儀的工作原理是在目標(biāo)點(diǎn)上安置一個(gè)靶鏡,激光跟蹤儀發(fā)出的測(cè)量光入射到靶鏡上,又返

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