本文關鍵詞：氫原子發(fā)生器設計與分析　出處：《華中科技大學》2015年碩士論文　論文類型：學位論文

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【摘要】：極紫外光刻技術是業(yè)界公認最有應用前景的下一代光刻技術,其中光學表面污染清潔技術是其中有待解決的關鍵技術之一,采用氫原子進行在線低溫清潔被認為是實現光學表面污染清潔有效技術之一,本文主要研究用于光學表面污染清潔的核心裝置氫原子發(fā)生器,主要研究工作和結論如下:提出了氫原子發(fā)生器的技術方案,通過高溫鎢絲輻射加熱鎢毛細管,再由鎢毛細管加熱氫氣流,實現氫氣裂解獲得氫原子,其中鎢絲溫度通過電流調節(jié)和溫度反饋測量實現精確控制,采用鉬隔熱材料和水冷結構屏蔽高溫鎢絲的熱傳遞,減小對外部器件的熱影響。該方案裂解率高,且氫原子流向可控,可獲得更好的光學表面污染清潔效果。研究了氫氣裂解率與鎢毛細管溫度和氫氣流量之間的關系,氫氣裂解率隨鎢毛細溫度升高而增大,隨氫氣流量增大而減小。當鎢毛細管溫度達到2115K時,氫氣裂解率可實現90%,鎢管溫度繼續(xù)升高,氫氣裂解率增大的速率開始減小。依據氫氣裂解率和氫原子總量需求確定氫氣流量,建立了鎢毛細管溫度和加熱電流之間關系式。設計了氫原子發(fā)生器的詳細結構,鎢絲采用螺旋結構并匹配螺距與直徑間的關系,以及選擇合理材料和安裝固定方式,避免高溫鎢絲的軟化下垂對其性能的影響。采用鉬隔熱環(huán)和冷卻套相結合,屏蔽高溫鎢絲熱傳遞到氫原子發(fā)生器外部,減小其對外部器件的熱影響。氫原子發(fā)生器采用了輕量化和緊湊性設計,為其集成和應用奠定了基礎。氫原子發(fā)生器已經裝配完畢,正在進行性能調試。提出了氫原子發(fā)生器性能測試方法。在真空環(huán)境下,由殘余氣體分析儀測量氫原子數量和氫氣流量計算得到氫氣裂解率。并設計和建立了氫原子發(fā)生器性能實驗驗證裝置,具備了對氫原子發(fā)生器性能測試條件。
[Abstract]:This paper studies the relationship between hydrogen cracking rate and tungsten capillary temperature and hydrogen flow .

【學位授予單位】：華中科技大學
【學位級別】：碩士
【學位授予年份】：2015
【分類號】：TN305.7

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本文編號：1379014