本文關(guān)鍵詞：增強(qiáng)型局域表面等離子體共振納米直寫(xiě)光刻　出處：《光電工程》2016年01期 　論文類(lèi)型：期刊論文

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【摘要】：本文將Bowtie孔徑結(jié)構(gòu)與金屬-介質(zhì)-金屬結(jié)構(gòu)相結(jié)合,提出了一種新的局域表面等離子體共振納米直寫(xiě)光刻結(jié)構(gòu),得益于金屬-介質(zhì)-金屬結(jié)構(gòu)中頂層透射Ag對(duì)透射光的放大增強(qiáng)以及底層反射Ag對(duì)透射光的反射補(bǔ)償作用,聚焦光斑的尺寸得到壓縮的同時(shí)深度得到了顯著提高,理論仿真中當(dāng)焦斑的FWHM為28 nm時(shí),焦斑深度可以達(dá)到20 nm以上,這相對(duì)于傳統(tǒng)納米直寫(xiě)光刻結(jié)構(gòu),將焦斑的深度提升了4倍。隨后,通過(guò)相關(guān)驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)在光刻膠中獲得了FWHM為47 nm,曝光深度為25 nm的焦斑圖形,進(jìn)一步證實(shí)了該結(jié)構(gòu)在壓縮焦斑尺寸以及提升焦斑深度上的顯著優(yōu)勢(shì)。
[Abstract]:......
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所微細(xì)加工光學(xué)技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(61138002)
【分類(lèi)號(hào)】：O53;TN305.7
【正文快照】： 0引言近年來(lái),一系列光學(xué)奇異現(xiàn)象的研究證實(shí),表面等離子體(Surface Plasmon,SP)本身具備了短波長(zhǎng)傳輸以及倏逝波耦合放大等獨(dú)特的光學(xué)特性[1]。通過(guò)電磁波耦合表面等離子體集群振蕩,使倏逝波的位相、振幅和傳輸行為操控成為了可能,為超衍射光學(xué)成像、光刻和傳輸?shù)难芯堪l(fā)展帶來(lái)

【共引文獻(xiàn)】

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4 孫吉偉;競(jìng)技盤(pán)點(diǎn)：為班組員工插上騰飛的翅膀[N];工人日?qǐng)?bào);2008年

5 四川金屬結(jié)構(gòu)行業(yè)協(xié)會(huì)會(huì)長(zhǎng) 劉興元;尋找破解金屬結(jié)構(gòu)行業(yè)發(fā)展困局之策[N];中華建筑報(bào);2010年

6 本報(bào)記者 趙士振　通訊員 段友才;鳳凰鳴唱鋼鐵間[N];中國(guó)石化報(bào);2010年

7 記者 張向楠;向風(fēng)塔制作市場(chǎng)挺進(jìn)[N];中國(guó)石油報(bào);2005年

8 李文;東莞建筑金屬結(jié)構(gòu)行業(yè)協(xié)會(huì)加強(qiáng)行業(yè)自律[N];中華建筑報(bào);2008年

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10 楊小川;挺起鋼鐵脊梁[N];中國(guó)水利報(bào);2005年

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1 翟翔;金屬—介質(zhì)—金屬結(jié)構(gòu)中表面等離子特性研究及器件設(shè)計(jì)[D];湖南大學(xué);2013年

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3 徐健寧;智能金屬結(jié)構(gòu)熔焊成型技術(shù)研究[D];南昌大學(xué);2009年

4 馮艷;埋入金屬結(jié)構(gòu)的光纖Bragg光柵傳感性能研究[D];南昌大學(xué);2009年

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3 羅蓉;網(wǎng)絡(luò)環(huán)境下建筑金屬結(jié)構(gòu)產(chǎn)品設(shè)計(jì)系統(tǒng)的研究與實(shí)現(xiàn)[D];重慶大學(xué);2004年

4 宋君;建筑金屬結(jié)構(gòu)產(chǎn)品制造業(yè)分布式庫(kù)存優(yōu)化調(diào)度研究[D];重慶大學(xué);2005年

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6 蘇玉闊;JIER金屬結(jié)構(gòu)公司ERP系統(tǒng)的研究與應(yīng)用[D];山東大學(xué);2010年

7 羅勤生;集裝箱裝卸橋金屬結(jié)構(gòu)疲勞裂紋控制與管理[D];上海海事大學(xué);2006年

8 曾宇丹;基于網(wǎng)絡(luò)的建筑金屬結(jié)構(gòu)門(mén)窗產(chǎn)品計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)系統(tǒng)[D];重慶大學(xué);2002年

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本文編號(hào)：1353930