本文關(guān)鍵詞：退火對(duì)金屬介質(zhì)多層膜的界面擴(kuò)散及抗化學(xué)清洗性能的影響　出處：《中國(guó)激光》2016年10期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：對(duì)金屬介質(zhì)多層膜樣品進(jìn)行不同溫度的退火處理。實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn),當(dāng)退火溫度為350℃時(shí),在樣品Au層與SiO_2層的界面處出現(xiàn)過渡層,樣品具有很強(qiáng)的抗化學(xué)清洗能力。利用透射電子顯微鏡觀測(cè)與能譜儀分析發(fā)現(xiàn),過渡層的出現(xiàn)主要是Cr原子從Au層底部擴(kuò)散到SiO_2層的結(jié)果。過渡層可以增強(qiáng)Au層與SiO_2層間的粘附力,阻擋酸溶液的滲入,使得金屬介質(zhì)多層膜的抗化學(xué)清洗能力得到增強(qiáng)。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院大學(xué);中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所強(qiáng)激光材料重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)近代物理系核探測(cè)與核電子學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(61405225,61405219)
【分類號(hào)】：TN25;TN24
【正文快照】： 脈沖壓縮光柵(PCG)是高功率激光系統(tǒng)中的重要元件之一[1],一般要求其具有高損傷閾值、高衍射效率1003002-1與足夠的帶寬。多層介質(zhì)膜光柵(MDG)具有高損傷閾值和高衍射效率[2-3]而成為制備PCG的較佳選擇。然而,MDG內(nèi)部介質(zhì)層數(shù)較多、膜層較厚,導(dǎo)致其內(nèi)部應(yīng)力較大。金屬介質(zhì)多層，

本文編號(hào)：1327121