本文關鍵詞：硅基微機械加工技術　出處：《電子世界》2016年23期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：就微電子機械系統(tǒng)而言,硅基微機械加工技術是其重要的實現(xiàn)技術之一。這種技術的應用是微電子機械系統(tǒng)形成良好性能的重要保障。本文從硅基微機械加工技術的種類入手,對這種加工技術的應用進行分析和研究。
【作者單位】： 大慶市實驗中學;
【分類號】：TN40
【正文快照】： 大慶市實驗中學于周順澤前言從以往機械加工經(jīng)驗可知,隨著待加工機械材料尺寸的降低,其加工難度會發(fā)生相應提升。因此,相對于普通的加工技術而言,硅基微機械加工技術的應用難度更高。除此之外,硅基微機械加工技術的應用也是使得加工成品產(chǎn)生高精度、高效性能的主要原因。一、

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1 吳沖若;微機械加工技術[J];微細加工技術;1993年01期

2 馮景星;硅的微機械加工技術[J];福州大學學報(自然科學版);1995年04期

3 P.J.French,貢樹行;新的用于微系統(tǒng)的硅微機械加工技術(下)[J];紅外;2000年06期

4 小平;科技簡訊[J];光機電信息;2001年05期

5 李拴慶,周立軍;光學和光電子系統(tǒng)用的微機械加工技術[J];半導體情報;1999年04期

6 張光照,王香文;微機械加工技術─LIGA技術[J];傳感器技術;1997年02期

7 ;[J];;年期

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本文編號：1318195