本文關(guān)鍵詞：高功率密度激光二極管疊層散熱結(jié)構(gòu)的熱分析

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【摘要】：高功率窄間距列陣疊層是提高激光二極管泵浦源光功率密度的有效途徑,而封裝散熱熱沉的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)在其熱管理上占據(jù)至關(guān)重要的作用。本文利用ANSYS有限元分析方法,對(duì)疊層間距、絕緣陶瓷厚度以及陶瓷底面與散熱恒溫面距離等幾個(gè)影響高功率密度激光二極管疊層封裝散熱的重要因素進(jìn)行了分析,得到器件的最高溫度隨結(jié)構(gòu)參數(shù)變化的規(guī)律,并對(duì)上述參數(shù)進(jìn)行優(yōu)化。最后,利用優(yōu)化結(jié)果設(shè)計(jì)出一種適用于高功率密度激光二極管疊層泵浦源的高效有源散熱熱沉結(jié)構(gòu),大幅提高了器件的散熱能力,并降低了所需冷卻水的水泵功耗需求。
【作者單位】： 中國科學(xué)院半導(dǎo)體研究所光電子器件國家工程研究中心;
【基金】：國防基礎(chǔ)科研計(jì)劃(B1320133033)資助項(xiàng)目
【分類號(hào)】：TN31
【正文快照】： 1引言半導(dǎo)體激光器以其體積小、重量輕、轉(zhuǎn)換效率高、壽命長、易于調(diào)制等優(yōu)點(diǎn)[1-4]廣泛應(yīng)用于軍事、工業(yè)、醫(yī)療、科研等領(lǐng)域[5-10]。尤其是固態(tài)激光武器等高能量應(yīng)用系統(tǒng),要求其泵浦源具有更高的功率密度輸出,激光二極管列陣疊層是提高激光器輸出功率及功率密度的有效途徑,但

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