本文關(guān)鍵詞：柔性電路板制造過程自動(dòng)監(jiān)控與智能分析系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)

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【摘要】：制造過程自動(dòng)監(jiān)控是工業(yè)自動(dòng)化發(fā)展的必然趨勢,對(duì)保證產(chǎn)品質(zhì)量的穩(wěn)定性提供了方法,是各類生產(chǎn)制造企業(yè)關(guān)注的重點(diǎn)。在集成電路制造產(chǎn)業(yè)中,超高精密柔性電路板(基板)的制造技術(shù)是實(shí)現(xiàn)高密度倒裝芯片的關(guān)鍵技術(shù)之一。超高精密柔性基板制造過程中關(guān)鍵工序的過程穩(wěn)定性將直接影響高密度超薄柔性電路板的質(zhì)量。課題研究了超高精密柔性基板制造過程關(guān)鍵工序的自動(dòng)監(jiān)控和智能分析方法與系統(tǒng),主要工作如下:(1)分析了超高精密柔性基板制造過程的關(guān)鍵工序及其對(duì)應(yīng)的關(guān)鍵物理參數(shù);(2)對(duì)超高精密柔性基板制造過程,設(shè)計(jì)了基于過程關(guān)鍵物理參數(shù)如線寬、線距、孔徑、圓度、銅厚和工序不良率的單變量統(tǒng)計(jì)控制方法,對(duì)制造過程穩(wěn)定性進(jìn)行監(jiān)控和評(píng)價(jià);對(duì)超高精密柔性電路板制造過程中多耦合參數(shù)的關(guān)鍵工序,設(shè)計(jì)了基于多變量統(tǒng)計(jì)控制方法,對(duì)工序的波動(dòng)情況進(jìn)行評(píng)價(jià)和監(jiān)控;實(shí)驗(yàn)表明兩種監(jiān)控方案能有效識(shí)別數(shù)據(jù)中的異常情況。(3)對(duì)超高精密柔性基板制造過程中的復(fù)雜異常情況,基于BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò),建立了控制圖異常模式識(shí)別網(wǎng)絡(luò),同時(shí)實(shí)現(xiàn)控制圖中模式的識(shí)別和異常模式特征參數(shù)的估計(jì);實(shí)驗(yàn)表明該算法能夠有效識(shí)別異常模式及其有效地估計(jì)異常模式所對(duì)應(yīng)的特征參數(shù)。(4)以MFC為平臺(tái),開發(fā)了柔性基板制造過程自動(dòng)監(jiān)控與智能分析系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)了各功能模塊,并進(jìn)行了實(shí)例運(yùn)行測試。本研究為超高精密柔性基板制造過程提供了實(shí)現(xiàn)其自動(dòng)監(jiān)控與智能分析的思路、方法和技術(shù)的參考。
【學(xué)位授予單位】：華南理工大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2016
【分類號(hào)】：TN405;TP277

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本文編號(hào)：1231966