發(fā)布時(shí)間：2017-11-20 07:19

  本文關(guān)鍵詞：基于原子層與分子層沉積相結(jié)合的混合薄膜封裝技術(shù)

  更多相關(guān)文章： 有機(jī)電致發(fā)光器件 薄膜封裝 原子層沉積 分子層沉積 水汽滲透速率

【摘要】：有機(jī)電致發(fā)光器件(Organic Light-Emitting Diode,OLED)由于具備自發(fā)光、高亮度,高對(duì)比度、快響應(yīng)速度,柔性等一系列優(yōu)勢(shì),在未來(lái)的顯示,照明等領(lǐng)域具有非常廣闊的應(yīng)用前景。然而,OLED的發(fā)展還面臨著諸多挑戰(zhàn),其中最主要的一點(diǎn)是解決器件由于暴露于空氣中的水汽,氧氣而失效的問(wèn)題。針對(duì)該問(wèn)題,薄膜封裝作為一種阻隔水氧滲透的有效手段被人們廣泛研究。本論文針對(duì)OLED的水氧滲透性問(wèn)題,提出了采用原子層沉積(Atomic layer deposition,ALD)與分子層沉積(Molecular layer deposition,MLD)相結(jié)合制備有機(jī)/無(wú)機(jī)混合封裝薄膜的方法。在低溫80℃條件下制備了具有高水氧阻隔特性的混合封裝薄膜,并通過(guò)對(duì)反應(yīng)氣體的優(yōu)化,以及對(duì)有機(jī)無(wú)機(jī)疊層厚度的調(diào)節(jié),提高了薄膜的成膜質(zhì)量,延長(zhǎng)了器件壽命。本論文首先介紹了OLED器件的基本結(jié)構(gòu)及發(fā)光機(jī)理,并以此為基礎(chǔ)分析了OLED器件的失效機(jī)理以及封裝技術(shù)的產(chǎn)生與發(fā)展。本論文在低溫80℃條件下,采用三甲基鋁(Trinethyluminium,TMA)與不同反應(yīng)氣體(水或臭氧)作用制備無(wú)機(jī)薄膜Al2O3,同時(shí),再利用TMA與乙二醇(ethylene glycol,EG)反應(yīng)制備有機(jī)薄膜聚乙二醇鋁(poly(aluminum ethylene glycol)polymer,alucone),通過(guò)對(duì)比不同有機(jī)/無(wú)機(jī)疊層個(gè)數(shù)下的薄膜表面形貌及電學(xué)性質(zhì),發(fā)現(xiàn)采用臭氧作反應(yīng)氣體制備薄膜不但可以縮短反應(yīng)時(shí)間,還可以增加薄膜表面平整性,提高封裝性能。并通過(guò)亮度隨時(shí)間的衰減曲線發(fā)現(xiàn)臭氧作反應(yīng)氣體的混合薄膜封裝后的器件壽命是水作反應(yīng)氣體的2倍。為了進(jìn)一步優(yōu)化混合薄膜的封裝性能并探究其柔性封裝效果,我們選擇PET作為襯底,仍然在80℃的沉積溫度下,將4nm alucone有機(jī)薄膜插入Al2O3無(wú)機(jī)薄膜中,形成有機(jī)/無(wú)機(jī)交替的柔性疊層結(jié)構(gòu),在總厚度一致的條件下與單純的Al2O3無(wú)機(jī)薄膜對(duì)比,發(fā)現(xiàn)這種有機(jī)/無(wú)機(jī)柔性混合薄膜無(wú)論在彎曲測(cè)試前后,都能保持較低的表面粗糙度和水汽滲透速率(Water Vapor Transmission Rate,WVTR)。彎曲測(cè)試后的WVTR可達(dá)7.1×10-5 g/(m2·day)。通過(guò)光學(xué)顯微鏡觀察,這種有機(jī)無(wú)機(jī)交疊的柔性混合薄膜彎曲后沒(méi)有出現(xiàn)明顯的表面裂紋,通過(guò)光學(xué)透過(guò)率測(cè)試,該柔性混合薄膜在可見(jiàn)光范圍內(nèi)具有69%的透過(guò)率,可作柔性O(shè)LED器件的封裝層。
【學(xué)位授予單位】：吉林大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2016
【分類號(hào)】：TN383.1

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本文編號(hào)：1206526