本文關(guān)鍵詞：金剛石線鋸電解磨削切割多晶硅片的試驗(yàn)研究

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【摘要】：基于金剛石線鋸切割系統(tǒng),開(kāi)展了金剛線電解磨削切割多晶硅片試驗(yàn)。結(jié)果表明:電解磨削復(fù)合加工方法在機(jī)械磨削的同時(shí)復(fù)合了陽(yáng)極氧化和腐蝕,在硅片表面產(chǎn)生了機(jī)械損傷缺陷和電化學(xué)腐蝕缺陷。酸制絨時(shí)腐蝕反應(yīng)在兩種類(lèi)型缺陷處順利進(jìn)行,形成均勻致密的絨面結(jié)構(gòu),有效降低硅片表面反射率,有利于后續(xù)電池片光電轉(zhuǎn)換效率的提高。
【作者單位】： 南京航空航天大學(xué)機(jī)電學(xué)院;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51175259)
【分類(lèi)號(hào)】：TN305.1
【正文快照】： 固結(jié)磨料線切割又稱(chēng)金剛石線鋸切割,它利用電鍍或樹(shù)脂結(jié)合等方法,將金剛石顆粒附著在鋼線基體表面制成金剛石線。加工過(guò)程中,固結(jié)在鋼線上的金剛石顆粒作為切割刃具,隨著切割線高速運(yùn)動(dòng),持續(xù)進(jìn)給的工件與切割線之間產(chǎn)生壓力進(jìn)而實(shí)現(xiàn)切割[1-2]。相比于游離磨料線切割,金剛石線

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1 張霞;太陽(yáng)能硅片電解磨削多線切割遠(yuǎn)程監(jiān)控關(guān)鍵技術(shù)研究[D];南京航空航天大學(xué);2015年

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本文編號(hào)：1143995