本文關鍵詞：基于分枝搜索的帶緩沖集束型設備調度與性能分析

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【摘要】：針對帶緩沖與駐留約束的集束型設備調度問題,本文提出了一種基于分枝的搜索調度方法.首先,構造問題域的數(shù)學模型,在此基礎上提出了一種全局搜索算法;然后,通過數(shù)學分析證明引出必要的引理,提出一個基于分枝搜索的算法;最后,進行了仿真實驗和分析,結果表明本文提出的算法是有效且可行的,同時還表明了帶緩沖模塊的集束型設備在一定程度上能提高集束型設備的產能.
【作者單位】： 同濟大學機械與能源工程學院;
【基金】：國家自然科學基金(61273035,71471135)資助~~
【分類號】：TN305;TP301.6
【正文快照】： 集束型設備已被廣泛地應用于半導體制造的晶圓加工中[1-2].由于集束型設備加工晶圓時存在多重入流、駐留及資源約束等現(xiàn)象[3],使得集束型設備的調度變得非常復雜.近年來,為了提高設備的產能,集束型設備的結構隨著不斷改進也出現(xiàn)很多不同的變化,其中一些學者另辟蹊徑,希望通過

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