本文關(guān)鍵詞：基于微環(huán)諧振腔的可調(diào)諧硅基反射腔鏡

  更多相關(guān)文章： 光學(xué)器件 反射腔 熱調(diào)特性 微環(huán)諧振腔

【摘要】：針對(duì)片上光互連用光源對(duì)諧振腔單色性、可調(diào)性的要求,基于互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體技術(shù)和絕緣襯底上的硅材料,設(shè)計(jì)并制作了一種基于微環(huán)諧振腔的可調(diào)諧硅基反射腔鏡。利用轉(zhuǎn)移矩陣方法分析了該反射腔的性能,發(fā)現(xiàn)該反射腔具有較好的尖銳度和消光比。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,該反射腔在波長(zhǎng)1549nm處反射率可達(dá)90%,品質(zhì)因素Q值為3×104,自由光譜范圍(FSR)為9.6nm。通過(guò)對(duì)微環(huán)諧振腔進(jìn)行熱光調(diào)制,在0~40.5mW功率范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)了在FSR內(nèi)的波長(zhǎng)可調(diào)。
【作者單位】： 浙江大學(xué)信息與電子工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 光學(xué)器件 反射腔 熱調(diào)特性 微環(huán)諧振腔
【基金】：國(guó)家973計(jì)劃(2013CB632105) 國(guó)家自然科學(xué)基金(61177055,61307074) 浙江省杰出青年基金(LR15F050002)
【分類號(hào)】：TN256
【正文快照】： 近年來(lái),隨著微納技術(shù)的迅速發(fā)展,絕緣硅微納光子器件及其集成成為研究者們關(guān)注的焦點(diǎn)[1-2]�；诮^緣襯底上硅(SOI)材料的硅波導(dǎo)非常適用于高密度光子集成,且制備工藝和現(xiàn)有的微電子互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體(CMOS)標(biāo)準(zhǔn)工藝兼容性高,成為未來(lái)光子集成芯片的首選技術(shù)。由于硅和二氧

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 黃大為，，許俊泉，劉海松，鄔敏賢;用于遠(yuǎn)距離準(zhǔn)直的二元光學(xué)器件的設(shè)計(jì)[J];儀器儀表學(xué)報(bào);1996年S1期

2 李栓慶;光學(xué)器件具有無(wú)限的速度潛力[J];半導(dǎo)體情報(bào);1996年06期

3 方正;機(jī)載光學(xué)器件[J];應(yīng)用光學(xué);1994年04期

4 李長(zhǎng)生;復(fù)合式剪切光學(xué)器件的應(yīng)用與制作[J];光學(xué)技術(shù);1985年03期

5 龍品,徐大雄,烏敏賢,金國(guó)番,高士平;一種新型的二元光學(xué)器件——多位相光束分束器的制作[J];光學(xué)技術(shù);1993年02期

6 黃國(guó)亮，鄒敏賢，金國(guó)藩，嚴(yán)瑛白;光盤讀寫頭中的二元光學(xué)器件[J];儀器儀表學(xué)報(bào);1995年01期

7 鄔敏賢，金國(guó)藩，嚴(yán)瑛白;微光學(xué)器件及其應(yīng)用前景[J];儀器儀表學(xué)報(bào);1995年S1期

8 王星星;鄒文棟;江茂清;;二元光學(xué)器件表面表征方法研究[J];科技風(fēng);2011年10期

9 張和之;;斜頭反射鏡[J];應(yīng)用光學(xué);1987年03期

10 嚴(yán)瑛白,鄔敏賢,金國(guó)藩,毛文煒,包紅春;幾種二元光學(xué)器件的設(shè)計(jì)與研制[J];中國(guó)科學(xué)基金;1998年03期

中國(guó)重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前2條

1 李宏明;李俊慶;金磊;李淳飛;;基于手性耦合的光學(xué)器件[A];中國(guó)光學(xué)學(xué)會(huì)2006年學(xué)術(shù)大會(huì)論文摘要集[C];2006年

2 顏樹華;李圣怡;吳學(xué)忠;楊鍵;;并行直寫系統(tǒng)制作微光學(xué)器件的理論研究[A];全球化、信息化、綠色化提升中國(guó)制造業(yè)——2003年中國(guó)機(jī)械工程學(xué)會(huì)年會(huì)論文集（微納制造技術(shù)應(yīng)用專題）[C];2003年

中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前2條

1 顏樹華;二元光學(xué)器件設(shè)計(jì)理論及并行制作技術(shù)研究[D];國(guó)防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2004年

2 郝鵬;若干微納光學(xué)器件光學(xué)性能分析及實(shí)驗(yàn)研究[D];中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué);2012年

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前6條

1 戈碩;變換光學(xué)器件的實(shí)驗(yàn)研究[D];東南大學(xué);2015年

2 楊智;二元光學(xué)器件的設(shè)計(jì)與制作工藝研究[D];國(guó)防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2003年

3 王星星;基于掃描白光干涉法的二元光學(xué)器件表面誤差分析[D];南昌航空大學(xué);2011年

4 吳康寧;幾種光學(xué)器件的模擬仿真和優(yōu)化設(shè)計(jì)研究[D];復(fù)旦大學(xué);2013年

5 孫艷軍;八階二元光學(xué)器件的光刻技術(shù)研究[D];長(zhǎng)春理工大學(xué);2007年

6 李陽(yáng)龍;液晶光學(xué)器件功能薄膜的激光損傷機(jī)理研究[D];中國(guó)工程物理研究院;2010年

本文編號(hào)：1104214