本文關(guān)鍵詞：基于X射線相襯成像技術(shù)的光柵品質(zhì)無損檢測（英文）

  更多相關(guān)文章： X射線相襯成像 無損檢測 光柵品質(zhì) 工業(yè)運用

【摘要】：提出了一種基于X射線光柵像襯成像技術(shù)的光柵品質(zhì)無損檢測方法.我們發(fā)現(xiàn)利用傳統(tǒng)的吸收信號很容易檢測到光柵電鍍?nèi)毕?而由非均勻紫外曝光導致的光柵缺陷則可以通過相襯信號進行檢測.實驗結(jié)果證明,在一種利用實驗室光源同時產(chǎn)生吸收信號和相位信號的大視場實驗平臺上,X射線相位襯成像技術(shù)可以很好地運用到光柵缺陷的快速檢測以及其他類似的電刻產(chǎn)品的品質(zhì)檢測上.
【作者單位】： 中國科學技術(shù)大學國家同步輻射實驗室;
【關(guān)鍵詞】： X射線相襯成像 無損檢測 光柵品質(zhì) 工業(yè)運用
【基金】：Supported by the Major State Basic Research Development Program(2012CB825800) the Science Fund for Creative Research Groups(11321503) the Knowledge Innovation Program of the Chinese Academy of Sciences(KJCX2-YWN42) the National Natural Science Foundation of China(11179004,10979055,11205189,and 11205157) the Fundamental Research Funds for the Central Universities(WK2310000021)
【分類號】：O434.19;TN25
【正文快照】： ultraviolet　exposure　phenomenon　of　the0　Introductionphotoetching　machine,and　the　defects　inX-ray　phase-contrast　imaging,which　useselectroplating　process.phase　shift　as　the　imaging　signal,can　provide1　Materials　and　methodsremarkably

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本文編號：1092435