發(fā)布時間：2017-10-22 16:05

  本文關(guān)鍵詞：利用表面微結(jié)構(gòu)提高波長上轉(zhuǎn)換紅外探測器效率

  更多相關(guān)文章： 波長上轉(zhuǎn)換 表面微結(jié)構(gòu) 納米球 光提取效率

【摘要】：波長上轉(zhuǎn)換紅外探測器具有實(shí)現(xiàn)大面陣焦平面的優(yōu)勢,但光提取效率是制約器件整體效率的關(guān)鍵因素之一.本文主要研究利用表面微結(jié)構(gòu)來提高波長上轉(zhuǎn)換紅外探測器的效率.首先通過仿真計算研究了表面微結(jié)構(gòu)參數(shù)對光提取效率的影響,然后基于優(yōu)化設(shè)計的參數(shù),采用聚苯乙烯納米球掩膜刻蝕的方法制作了具有圓臺型表面微結(jié)構(gòu)的波長上轉(zhuǎn)換紅外探測器.測試結(jié)果表明,具有表面微結(jié)構(gòu)的器件的光提取效率比無表面微結(jié)構(gòu)的器件提高了130%.本文制作表面微結(jié)構(gòu)的方法可以實(shí)現(xiàn)波長上轉(zhuǎn)換紅外探測器件整體效率的提高.
【作者單位】： 清華大學(xué)電子工程系清華信息科學(xué)與技術(shù)國家實(shí)驗室;中國科學(xué)院物理研究所;
【關(guān)鍵詞】： 波長上轉(zhuǎn)換 表面微結(jié)構(gòu) 納米球 光提取效率
【基金】：國家重點(diǎn)基礎(chǔ)研究發(fā)展計劃(批準(zhǔn)號:2013CB632804,2012CB315605) 國家自然科學(xué)基金(批準(zhǔn)號:61176015,61210014,51002085,61321004,61307024,61176059) 國家高技術(shù)研究發(fā)展計劃(批準(zhǔn)號2015AA017101)資助的課題~~
【分類號】：TN215
【正文快照】： 暗電流的波長上轉(zhuǎn)換紅外探測.1引言由于制作紅外探測器的半導(dǎo)體材料與空氣之間的折射率差造成的全反射效應(yīng)限制了器件表面紅外探測器在氣象、環(huán)境、醫(yī)療、安防、軍事等的光提取效率,因此嚴(yán)重制約了波長上轉(zhuǎn)換紅外探方面都有廣泛的應(yīng)用.目前較為成熟的紅外探測測器的整體效率.

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【相似文獻(xiàn)】

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本文編號：1079060