本文關鍵詞：高精度六維激光測量系統(tǒng)誤差補償算法研究

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【摘要】：根據(jù)極大規(guī)模集成電路制造對光刻物鏡中敏感光學元件調(diào)節(jié)機構(gòu)高精度的調(diào)整要求,研究設計了一套基于雙頻激光干涉儀的高精度六自由度位姿檢測測量系統(tǒng)。但由于雙頻激光干涉儀是一種線性增量式的測長儀器,其固有的機械安裝誤差及運動平臺在工作過程中引入的傾斜或旋轉(zhuǎn)運動都將導致測量光程的變化而產(chǎn)生阿貝誤差與余弦誤差。為此,根據(jù)系統(tǒng)測量原理,采用解析法基于空間齊次變換建立了系統(tǒng)誤差補償數(shù)學模型,并深入分析了裝調(diào)誤差對測量精度的影響,實現(xiàn)了調(diào)節(jié)機構(gòu)六自由度運動的高精度測量。
【作者單位】： 長沙湘計海盾科技有限公司;中國科學院長春光學精密機械與物理研究所;
【關鍵詞】： 雙頻激光干涉儀 六自由度位姿檢測 誤差補償 齊次變換
【基金】：國家重大科技專項02專題(2009ZX02205)資助項目
【分類號】：TN249
【正文快照】： 1引言隨著集成電路特征線寬的不斷減小,極大規(guī)模集成電路制造所需光刻物鏡的精度要求越來越高[1]。在投影光刻物鏡的裝調(diào)及使用過程中,為了獲得良好的光學性能,消除物鏡內(nèi)部環(huán)境變化對成像質(zhì)量的影響,需要對光學系統(tǒng)的各種像差進行補償[2-3]。常用的補償方法是調(diào)整光學系統(tǒng)中

【相似文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前4條

1 ;不用預熱的雙頻激光干涉儀[J];激光與光電子學進展;1971年04期

2 馮其波，梁晉文，田芊;雙頻激光干涉儀高精度測量大型工件內(nèi)外徑系統(tǒng)的研制[J];儀器儀表學報;1995年02期

3 張汝鵬,呂曉明,趙轉(zhuǎn)萍;空間運動目標激光跟蹤測量系統(tǒng)建模研究[J];實用測試技術(shù);2000年06期

4 ;[J];;年期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 劉洪霞;趙洪濤;;利用雙頻激光干涉儀配合修理、校準繪圖機[A];2010航空試驗測試技術(shù)學術(shù)交流會論文集[C];2010年

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本文編號：1068915