發(fā)布時間：2017-10-18 12:32

  本文關(guān)鍵詞：應(yīng)用CVD金剛石涂層工具研磨單晶藍(lán)寶石

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【摘要】：通過熱絲化學(xué)氣相沉積(HFCVD)法制備了具有球狀晶結(jié)構(gòu)、棱錐形晶結(jié)構(gòu)和棱柱形晶結(jié)構(gòu)等3種不同表面特征的化學(xué)氣相沉積(CVD)金剛石涂層工具,以提高其研磨效率。通過正交實(shí)驗(yàn)法研究了金剛石涂層晶粒形態(tài)、載荷、工作臺轉(zhuǎn)速、研磨時間等4個工藝參數(shù)對藍(lán)寶石材料去除率和表面粗糙度的影響。結(jié)果表明:金剛石涂層的晶粒形態(tài)對材料去除率和表面粗糙度影響較大;球狀晶結(jié)構(gòu)金剛石涂層切向力較小,棱柱形晶結(jié)構(gòu)金剛石涂層切向力較大;選擇棱柱形晶CVD金剛石涂層工具研磨藍(lán)寶石,在研磨加工參數(shù)為載荷0.15 MPa、轉(zhuǎn)速100 r/min、研磨時間3 min時,其材料去除率為0.397μm/min,表面粗糙度為0.354μm。結(jié)果表明:提出的CVD金剛石涂層工具可用于進(jìn)一步加工、研磨藍(lán)寶石切片,去除其表面劃痕,從而改善工件表面質(zhì)量。
【作者單位】： 南京航空航天大學(xué)機(jī)電學(xué)院;江蘇省精密與微細(xì)制造技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 化學(xué)氣相沉積(CVD)金剛石涂層 研磨 藍(lán)寶石 晶粒形態(tài)
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(No.51275230) 南京航空航天大學(xué)研究生創(chuàng)新基地(實(shí)驗(yàn)室)開放基金資助項(xiàng)目(No.kfjj20150507) 航空基金資助項(xiàng)目(No.20140152001)
【分類號】：TN304.055
【正文快照】： 藍(lán)寶石(α-Al2O3)由于具有高硬度、高拉伸強(qiáng)度、優(yōu)異的抗熱沖擊性能、化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定、中波紅外波段的高透光率、耐磨性、電絕緣性等特性,被廣泛應(yīng)用于軍事電子、航空航天工業(yè)、化學(xué)工業(yè)及其他諸多領(lǐng)域。但由于藍(lán)寶石硬度高且脆性大,對其進(jìn)行機(jī)械加工非常困難[1]�；瘜W(xué)氣相沉積(

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