發(fā)布時(shí)間：2017-10-11 23:32

  本文關(guān)鍵詞：熱壓印光刻膠的研究進(jìn)展

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【摘要】：綜述了熱壓印光刻膠的主要分類,重點(diǎn)介紹了熱固性光刻膠和熱塑性光刻膠的研究進(jìn)展,并介紹了2種光刻膠的應(yīng)用情況,最后指出熱壓印光刻膠今后的發(fā)展方向。
【作者單位】： 中國(guó)石油蘭州石化公司研究院;浙江傳媒學(xué)院電子信息學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 熱壓印 光刻膠 熱固性 熱塑性
【分類號(hào)】：TB383.2;TN305.7
【正文快照】： 光刻膠是通過(guò)紫外光等光照或輻射后,使其曝光(或非曝光)造成部分降解并溶解于特定顯影液的耐蝕刻薄膜材料。光刻膠成品一般由成膜樹(shù)脂、光敏劑、溶劑和助劑等組成,將其涂布在印刷線路板、半導(dǎo)體基片、絕緣體或其他基材的表面,經(jīng)曝光、顯影、蝕刻、擴(kuò)散和離子注入等工藝加工后,

【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：1015426