本文關鍵詞：飛秒激光加工最新研究進展

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【摘要】：飛秒激光作為一種先進的加工技術,以其“冷加工”、多光子非線性效應、突破衍射極限等特質可實現對任意材料由微納到宏觀尺度復雜三維零件的精密加工,在微納和精密機械、微納電子、微納光學、表面工程、生物醫(yī)學等領域展露了巨大的市場應用前景。文章重點針對近三年來飛秒激光刻蝕、切割、制孔、功能表面制備、體內加工和聚合加工的研究進展進行綜述,并探討了飛秒激光在與材料相互作用機制、加工精度、加工方式、加工對象等方面面臨的機遇和挑戰(zhàn)。
【作者單位】： 北京工業(yè)大學激光工程研究院;河北工程大學理學院;
【關鍵詞】： 飛秒激光 精密加工 刻蝕 功能表面 雙光子吸收
【分類號】：TN24
【正文快照】： 0前言*飛秒激光與材料作用時,一方面由于脈沖持續(xù)時間遠小于材料內部受激電子的弛豫時間,從根本上抑制熱擴散,實現相對意義上的“冷加工”[1-2],大大提高加工精度[3];另一方面,極短的脈寬產生超高光強,可誘導電介質材料多光子非線性吸收,增強空間分辨的同時突破衍射極限[4],實

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2 曾紹群;;飛秒激光的聲光掃描與神經活動觀測[A];2006年全國強場激光物理會議論文集[C];2006年

3 徐楠;吳成印;吳志峰;梁青青;楊宏;龔旗煌;;分子的飛秒激光取向操縱[A];2006年全國強場激光物理會議論文集[C];2006年

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5 魯欣;張U，

本文編號：1014497