文章介紹了一種微小型磁矢量傳感器設(shè)計(jì)。該傳感器的檢測單元包括兩個磁敏感單元和一套信號處理系統(tǒng)。磁敏感單元采用MEMS技術(shù)制作,具有體積小、集成度高等特點(diǎn)。信號處理系統(tǒng)通過對兩個磁敏感單元對空間地磁信號進(jìn)行采集,并通過對磁敏感單元的信號數(shù)據(jù)處理,有效地改善了傳感器的非線性和噪聲,提高了傳感器的靈敏度和線性度。對采用MEMS技術(shù)制作的微小型磁矢量傳感器進(jìn)行性能測試,測試結(jié)果表明:該傳感器的靈敏度優(yōu)于100pT/Hz1/2,線性誤差≤0.1%。

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【文章目錄】：
引言
1 總體設(shè)計(jì)原理
2 磁敏感單元芯片設(shè)計(jì)
3 傳感器信號處理設(shè)計(jì)
4 設(shè)計(jì)樣品的性能測試
5 結(jié)束語



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