本文關(guān)鍵詞：碳含量對NbVCN薄膜的微觀結(jié)構(gòu)、力學(xué)及摩擦磨損性能的影響

  更多相關(guān)文章： NbVCN薄膜 微觀結(jié)構(gòu) 力學(xué)性能 摩擦磨損性能

【摘要】：采用磁控濺射法制備了不同C含量的NbVCN薄膜,研究了C含量對NbVCN薄膜微觀結(jié)構(gòu)、力學(xué)及摩擦磨損性能的影響。結(jié)果表明:四元NbVCN薄膜微觀結(jié)構(gòu)受C含量影響顯著,當(dāng)C含量小于6.3%,薄膜為fcc-NbN+hcp-NbN兩相共存;隨含量的進(jìn)一步升高,薄膜中出現(xiàn)非晶石墨相,此時薄膜三相共存,為fcc-NbN+hcp-NbN+amorphous-graphite。NbVCN薄膜硬度隨C含量的升高先上升后下降,當(dāng)C含量為6.3%時,薄膜硬度最高,其最高值為29 GPa。室溫下,NbVCN薄膜平均摩擦系數(shù)隨C含量的升高逐漸降低,當(dāng)C含量為15.3%時,薄膜平均摩擦系數(shù)最低,其最低值為0.34;隨C含量的升高,NbVCN薄膜磨損率先降低后升高,當(dāng)C含量為6.3%時,薄膜磨損率達(dá)到最小值,其最小值為1.86×10~(-8)mm~3·N~(-1)mm~(-1)。環(huán)境溫度在200~700℃時,C含量為6.3%的薄膜的平均摩擦系數(shù)隨著溫度的升高逐漸降低,在700C時,薄膜獲得最低摩擦系數(shù),其最低值為0.53;薄膜的磨損率隨溫度的升高逐漸升高。
【作者單位】： 江蘇科技大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： NbVCN薄膜 微觀結(jié)構(gòu) 力學(xué)性能 摩擦磨損性能
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51074080) 江蘇省創(chuàng)新計(jì)劃(CXLX13-703)
【分類號】：TB383.2
【正文快照】： 過渡族金屬氮化物(MeN)薄膜具有高硬度、低摩擦系數(shù)及良好的耐磨損性能,在刀具、耐磨部件等眾多領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用[1_2]。自I960年用物理氣相沉積法成功制備TiN薄膜以來,氮化物薄膜在工業(yè)領(lǐng)域作為硬質(zhì)保護(hù)涂層發(fā)展迅速[3 — 4]。研究表明NbN薄膜比TiN薄膜在硬度等力學(xué)性能

【參考文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 許俊華;鞠洪博;喻利花;;Mo含量對TiMoN薄膜微觀組織和摩擦磨損性能的影響[J];金屬學(xué)報;2012年09期

【共引文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前4條

1 王振玉;徐勝;張棟;劉新才;柯培玲;汪愛英;;N_2流量對HIPIMS制備TiSiN涂層結(jié)構(gòu)和力學(xué)性能的影響[J];金屬學(xué)報;2014年05期

2 陳超;鞠洪博;喻利花;許俊華;;W含量對CrSiWN薄膜微觀結(jié)構(gòu)、力學(xué)及摩擦性能的影響[J];真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報;2013年11期

3 鞠洪博;喻利花;許俊華;;不同調(diào)制比NbSiN/VN多層膜微觀結(jié)構(gòu)、力學(xué)和摩擦性能研究[J];真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報;2014年03期

4 鞠洪博;喻利花;許俊華;;制備工藝對磁控濺射Mo-N薄膜微結(jié)構(gòu)和性能的影響[J];真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報;2014年05期

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前5條

1 陳超;CrN納米單層膜及CrSiWN、CrSiVN薄膜的微結(jié)構(gòu)與性能研究[D];江蘇科技大學(xué);2013年

2 鞠洪博;Al、Si對TiN及Mo_2N基薄膜微觀組織、力學(xué)及摩擦磨損性能的影響[D];江蘇科技大學(xué);2013年

3 薛雅平;TaN-基納米復(fù)合膜和多層膜的微結(jié)構(gòu)及性能研究[D];江蘇科技大學(xué);2013年

4 趙強(qiáng);ZrMoN、ZrAlMoN復(fù)合膜及ZrAlN/Mo_2N多層膜的性能研究[D];江蘇科技大學(xué);2013年

5 趙淑芳;W-Ti-N、W-Si-N和W-Mo-N復(fù)合膜微結(jié)構(gòu)與性能研究[D];江蘇科技大學(xué);2013年

【二級參考文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 喻利花;董松濤;董師潤;許俊華;;AlN/Si_3N_4納米多層膜的外延生長與力學(xué)性能[J];物理學(xué)報;2008年08期

2 喻利花;董師潤;許俊華;李戈揚(yáng);;TaN/TiN和NbN/TiN納米結(jié)構(gòu)多層膜超硬效應(yīng)及超硬機(jī)理研究[J];物理學(xué)報;2008年11期

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 李云良;田振輝;譚惠豐;;屈曲薄膜振動分析[J];工程力學(xué);2008年11期

2 肖瀟;關(guān)富玲;程亮;;基于能量動量方法的空間薄膜結(jié)構(gòu)的展開分析[J];工程力學(xué);2011年04期

3 譚惠豐;余建新;衛(wèi)劍征;;空間薄膜結(jié)構(gòu)動態(tài)測試研究最新進(jìn)展[J];實(shí)驗(yàn)力學(xué);2012年04期

4 王燦;門玉濤;李林安;;含有界面裂紋薄膜的有限元分析[J];科學(xué)技術(shù)與工程;2007年16期

5 徐彥;關(guān)富玲;;可展開薄膜結(jié)構(gòu)折疊方式和展開過程研究[J];工程力學(xué);2008年05期

6 譚惠豐;李云良;;薄膜后屈曲振動行為分析[J];哈爾濱工業(yè)大學(xué)學(xué)報;2011年S1期

7 立早;硬質(zhì)炭薄膜的制造技術(shù)[J];新型碳材料;1991年02期

8 姜訓(xùn)勇,徐惠彬,蔣成保,宮聲凱;形狀記憶薄膜的研究進(jìn)展[J];材料導(dǎo)報;2000年07期

9 劉文元;李馳麟;傅正文;;含氮磷酸鋰薄膜在空氣中的穩(wěn)定性[J];物理化學(xué)學(xué)報;2006年11期

10 肖秀娣;董國平;余華;范正修;賀洪波;邵建達(dá);;傾斜沉積制備雕塑薄膜的研究進(jìn)展[J];稀有金屬材料與工程;2008年08期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 饒正清;楊慶山;;薄膜結(jié)構(gòu)褶皺處理方法[A];第十二屆全國結(jié)構(gòu)工程學(xué)術(shù)會議論文集第Ⅰ冊[C];2003年

2 薛峰;茍曉凡;周又和;;磁性夾雜/超導(dǎo)薄膜結(jié)構(gòu)力學(xué)特性研究[A];中國力學(xué)大會——2013論文摘要集[C];2013年

3 辛煜;方亮;陸新華;甘肇強(qiáng);康健;葉超;程珊華;寧兆元;;微波ECR-CVD的宏觀參數(shù)對a-C:F膜結(jié)構(gòu)的影響[A];第四屆中國功能材料及其應(yīng)用學(xué)術(shù)會議論文集[C];2001年

4 姬洪;;探索在普通衍射儀上分析薄膜的途徑[A];第八屆全國X射線衍射學(xué)術(shù)會議論文集[C];2003年

5 楊易;金新陽;楊立國;;薄膜結(jié)構(gòu)風(fēng)荷載數(shù)值模擬的新方法和應(yīng)用[A];第十四屆全國結(jié)構(gòu)風(fēng)工程學(xué)術(shù)會議論文集（下冊）[C];2009年

6 宋昌永;沈世釗;;薄膜結(jié)構(gòu)的形狀確定分析[A];第六屆空間結(jié)構(gòu)學(xué)術(shù)會議論文集[C];1996年

7 王友善;王長國;杜星文;;薄膜充氣梁的皺曲行為分析[A];第十五屆全國復(fù)合材料學(xué)術(shù)會議論文集（下冊）[C];2008年

8 宋昌永;王樹斌;;薄膜結(jié)構(gòu)中索滑動對結(jié)構(gòu)性能的影響[A];第十屆全國結(jié)構(gòu)工程學(xué)術(shù)會議論文集第Ⅰ卷[C];2001年

9 馬平;胡建平;唐明;邱服民;王震;于杰;;高功率激光薄膜及相關(guān)檢測技術(shù)[A];中國工程物理研究院科技年報（2005）[C];2005年

10 魏玉卿;尚仰宏;;空間薄膜結(jié)構(gòu)張拉系統(tǒng)優(yōu)化設(shè)計(jì)[A];中國電子學(xué)會電子機(jī)械工程分會2009年機(jī)械電子學(xué)學(xué)術(shù)會議論文集[C];2009年

中國重要報紙全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 呂軍鋒;薄膜表面極性火焰處理技術(shù)的原理及其特點(diǎn)[N];中國包裝報;2009年

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 王長國;空間薄膜結(jié)構(gòu)皺曲行為與特性研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2007年

2 羅勝耘;磁控濺射制備多層TiO_2薄膜的光電化學(xué)特性研究[D];復(fù)旦大學(xué);2014年

3 秦國平;銦（銅）-氮共摻p型氧化鋅薄膜的制備和性能研究[D];重慶大學(xué);2015年

4 李云良;空間薄膜褶皺及其動態(tài)特性研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2008年

5 荊象陽;鉍系薄膜的制備及其介電、鐵電性能的研究[D];山東大學(xué);2009年

6 肖瀟;空間薄膜結(jié)構(gòu)的展開動力學(xué)研究及熱分析[D];浙江大學(xué);2009年

7 宋青林;薄膜熱學(xué)特性研究[D];中國科學(xué)院研究生院（電子學(xué)研究所）;2004年

8 張海燕;復(fù)合鉿基高k薄膜的雙頻等離子體涂覆及機(jī)理研究[D];蘇州大學(xué);2015年

9 肖順豪;鉍薄膜的結(jié)構(gòu)與輸送性質(zhì)研究[D];復(fù)旦大學(xué);2011年

10 董東;多孔二氧化硅薄膜的構(gòu)建及性能研究[D];電子科技大學(xué);2011年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 李敏;共摻雜LiNbO_3薄膜鐵磁性鐵電性能的研究[D];天津理工大學(xué);2015年

2 張創(chuàng)立;納米α-Fe_20_3/Ti0_2薄膜的制備及其光解水制氫研究[D];天津理工大學(xué);2015年

3 王翠娟;B位異價元素?fù)诫sBiFeO_3薄膜的制備與性能研究[D];山東建筑大學(xué);2015年

4 阿立瑪;摻鈰與摻鉻對于鐵酸鉍薄膜鐵電性影響的研究[D];內(nèi)蒙古大學(xué);2015年

5 石璐丹;電沉積制備硫族電池薄膜及其性能研究[D];山東建筑大學(xué);2015年

6 張美杰;射頻磁控濺射制備金屬/CrN薄膜及其特性研究[D];延邊大學(xué);2015年

7 王艷艷;液相法制備Ti0_2和Cu_2S薄膜的摩擦學(xué)性能的研究[D];青島理工大學(xué);2015年

8 臺運(yùn)東;高功率脈沖磁控濺射技術(shù)制備Ti-Cu薄膜及血小板粘附件為[D];西南交通大學(xué);2015年

9 張旭;有機(jī)/無機(jī)雜化鈣鈦礦薄膜的制備及其性能研究[D];內(nèi)蒙古大學(xué);2015年

10 張帥拓;多弧離子鍍制備TiN/TiCrN/TiCrAIN多層硬質(zhì)膜的研究[D];沈陽大學(xué);2015年

，

本文編號：956462