本文關(guān)鍵詞：高價金屬元素?fù)诫sITO薄膜性能的研究現(xiàn)狀

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【摘要】：銦錫氧化物(ITO)薄膜是一種光電性能優(yōu)良的二元透明導(dǎo)電氧化物(TCO)薄膜,隨著其在應(yīng)用領(lǐng)域的不斷拓展,其各項性能需要進(jìn)一步提升。向ITO薄膜中摻入高價金屬元素是一種有效的改性方法,該方法已經(jīng)逐步成為研究熱點。
【作者單位】： 中國船舶重工集團(tuán)公司第725研究所;
【關(guān)鍵詞】： 透明導(dǎo)電氧化物 ITO薄膜 摻雜
【分類號】：TB383.2
【正文快照】： ITO具有立方鐵錳礦結(jié)構(gòu),是一種重?fù)诫s、高簡并的n型半導(dǎo)體,禁帶寬度3.5~4.3 e V,載流子濃度1021cm-3量級。ITO薄膜兼具寬禁帶、高可見光透過率及低電阻率等光電特性,是綜合性能最優(yōu)、應(yīng)用最為廣泛的TCO薄膜。ITO薄膜電阻率1×10-4~4×10-4Ω·cm,可見光波長范圍平均透過率達(dá)85

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本文編號：935786