本文關(guān)鍵詞：微波化學氣相沉積制備氧化鋁薄膜及鈍化性能研究

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【摘要】：AlO_x薄膜作為高效太陽能電池中P層鈍化薄膜引起了光伏龍頭企業(yè)的關(guān)注。本文利用最新研發(fā)的微波等離子增強化學氣相沉積(MW-PECVD)系統(tǒng),在單晶硅基體上用不同微波功率和生長溫度制備氧化鋁膜層樣品,并通過掃描電鏡、SE800橢偏儀和WT2000少子壽命測量儀對薄膜的成分、表面形貌、厚度、沉積速度、鈍化性能進行分析。實驗結(jié)果表明,LMW-PECVD制備的AlO_x薄膜沉積速度快且薄膜質(zhì)量高,適用于大規(guī)模企業(yè)生產(chǎn)。此外,微波功率和生長溫度都對AlO_x薄膜的鈍化性能有著顯著的影響。
【作者單位】： 東北大學機械及自動化學院;
【關(guān)鍵詞】： 線性微波化學氣相沉積 氧化鋁薄膜 少子壽命 微波功率 溫度
【基金】：國家自然科學基金資助項目(50704012) 遼寧省博士啟動基金資助基金(20061017)
【分類號】：TB383.2
【正文快照】： 晶硅電池表面鈍化對于制備高效穩(wěn)定的太陽能電池是一個重要環(huán)節(jié),特別是隨著硅片厚度越來越薄,晶硅鈍化更為重要。目前,由于氮化硅薄膜具有優(yōu)異的鈍化性能而被晶硅電池用作前表面鈍化而廣泛使用,但電池背面鈍化較為復(fù)雜,人們嘗試了多種鈍化薄膜,如熱CVD生長Si O2,化學氣相生長S，

本文編號：760206