本文關(guān)鍵詞：CrN和CrSiN薄膜在不同介質(zhì)下的摩擦學性能

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【摘要】：采用中頻非平衡反應磁控濺射法在單晶硅P(111)和不銹鋼(304SS)基材上制備CrN和CrSiN薄膜;利用球-盤式摩擦磨損試驗機(CSM)考察2種薄膜在不同介質(zhì)(空氣、去離子水、質(zhì)量分數(shù)3.5%NaCl溶液)中和WC/Co球?qū)δΦ哪Σ翆W性能。結(jié)果表明:大氣環(huán)境下,CrN與CrSiN薄膜的磨損機制主要是磨粒磨損;水潤滑下,CrN薄膜主要因機械拋光作用,CrSiN薄膜主要因摩擦化學反應,使得摩擦因數(shù)減小;在3.5%NaCl溶液中CrN薄膜易被腐蝕,由于NaCl顆粒析出以及涂層接觸區(qū)域的腐蝕和磨損產(chǎn)物,作為第三體的潤滑作用,導致摩擦磨損發(fā)生明顯變化,而CrSiN薄膜不易被腐蝕,主要因摩擦化學反應,使得摩擦磨損性能發(fā)生顯著變化。
【作者單位】： 上海航天設(shè)備制造總廠;中國科學院寧波材料技術(shù)與工程研究所中國科學院海洋新材料與應用技術(shù)重點實驗室浙江省海洋材料與防護技術(shù)重點實驗室;中國科學院蘭州物理化學研究所;
【關(guān)鍵詞】： CrN薄膜 CrSiN薄膜 摩擦磨損 磁控濺射
【基金】：國防基礎(chǔ)科研重點項目(A0320132009)
【分類號】：TB306
【正文快照】： 材料的摩擦磨損性能不僅取決于本身的組織和性能,也與所處的工作環(huán)境密切相關(guān)[1-2]。在許多應用領(lǐng)域,表面涂敷硬質(zhì)薄膜的零件可能長時間或頻繁地浸泡、暴露于有腐蝕性介質(zhì)的工作環(huán)境中(例如含Cl-的腐蝕環(huán)境中),磨損往往與腐蝕并存,發(fā)生腐蝕磨損[3-4],因此,人們期望薄膜能夠?qū)?

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本文編號：755778