本文關(guān)鍵詞：C含量對(duì)WAlCN復(fù)合膜的微結(jié)構(gòu)、力學(xué)性能和摩擦磨損性能的影響

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【摘要】：采用磁控濺射物理氣相沉積法沉積了不同含C量(0~20.7%(原子比))的WAlCN復(fù)合膜。利用X射線衍射和Raman表征了WAlCN膜的微結(jié)構(gòu);用掃描電鏡、壓痕儀和高溫摩擦磨損儀等研究了其力學(xué)和摩擦磨損性能。結(jié)果表明:復(fù)合膜是由石墨相和面心立方的WAlN相構(gòu)成,呈(200)擇優(yōu)生長(zhǎng)。當(dāng)WAlCN復(fù)合膜含C量增加時(shí),它的硬度值會(huì)先升高后降低,當(dāng)復(fù)合膜含C量達(dá)到11.2%時(shí)硬度出現(xiàn)最大值,約為37.7 GPa。加入C元素減少了WAlCN膜的摩擦系數(shù),而其磨損率則先減小后增大。當(dāng)WAlCN復(fù)合膜含C量達(dá)到20.7%時(shí),摩擦系數(shù)值最小為0.25,此時(shí)磨損率為1.44×10~(-8)mm~3/N·mm�？傊�,加入C元素后顯著提高了WAlCN膜的綜合性能。
【作者單位】： 天津大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院;天津市先進(jìn)連接技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 磁控濺射 WAlCN復(fù)合膜 微結(jié)構(gòu) 力學(xué)性能 摩擦性能
【基金】：天津市自然科學(xué)基金項(xiàng)目(12JCYBJ12300) 國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(51375332)
【分類號(hào)】：TB383.2
【正文快照】： 伴隨著工業(yè)技術(shù)和科學(xué)的不斷進(jìn)步,特別是當(dāng)出現(xiàn)了一批以干切削、微潤(rùn)滑切削和高速切削等先進(jìn)的切削方法后,對(duì)刀具提出了更嚴(yán)苛的使用需求。傳統(tǒng)的涂層局限性較大,根本無法滿足其要求,所以找到一種具有高熱穩(wěn)定性,高硬度和低摩擦系數(shù)等優(yōu)點(diǎn)的材料顯得十分重要,而超硬納米結(jié)構(gòu)薄

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本文編號(hào)：690121