本文關鍵詞：類金剛石薄膜殘余應力的研究進展

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【摘要】：類金剛石薄膜由于存在很大的殘余應力,在實際應用中薄膜易產(chǎn)生裂紋、破裂甚至脫落。這些問題導致類金剛石薄膜在使用過程中過早失效。因此,緩解殘余應力是類金剛石薄膜急需解決的問題和實際應用的需要。介紹了類金剛石薄膜殘余應力的產(chǎn)生,對國內(nèi)外調(diào)控殘余應力的途徑以及研究進展進行綜述。使用有限元分析法模擬薄膜的殘余應力可為類金剛石薄膜的制備和工藝設計提供參考。
【作者單位】： 河南工業(yè)大學化學化工學院;
【關鍵詞】： DLC薄膜 殘余應力 有限元分析法
【基金】：河南省教育廳自然科學項目(15A430004)
【分類號】：TB383.2
【正文快照】： 0引言類金剛石(Diamond-like carbon,DLC)薄膜具有很多接近金剛石膜的優(yōu)異性能,如硬度高(最高可達70~110GPa)、摩擦系數(shù)低(0.1)、電阻率高(1012~1016Ω·cm)、熱導率高以及化學穩(wěn)定性好、耐高溫、耐腐蝕[1,2]。除此之外,DLC薄膜與金剛石薄膜相比沉積溫度低、沉積面積大、膜光

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