發(fā)布時間：2017-08-12 01:22

  本文關(guān)鍵詞：磁控濺射銅薄膜微觀結(jié)構(gòu)對其電爆性能的影響

  更多相關(guān)文章： Cu薄膜 磁控濺射 橋箔 電爆性能

【摘要】：采用直流磁控濺射法在不同濺射功率和工作氣壓條件下沉積Cu薄膜,對其進行X射線衍射、原子力顯微鏡、電阻率測試,分析了工藝參數(shù)對Cu薄膜的沉積速率、微觀結(jié)構(gòu)和電阻率的影響。通過紫外光刻技術(shù)將Cu薄膜制成橋箔,采用電爆測試平臺獲得Cu橋箔的電爆參數(shù),研究了Cu薄膜的晶粒尺寸、擇優(yōu)取向?qū)ζ潆姳阅艿挠绊�。結(jié)果表明:隨濺射功率的增大,Cu薄膜的沉積速率增加、晶粒尺寸增大、Cu(111)晶面擇優(yōu)取向特性變差,且電阻率降低;隨濺射工作氣壓增大,Cu薄膜的沉積速率降低、晶粒尺寸減小、Cu(111)晶面擇優(yōu)取向越明顯,且電阻率增加。對于相同橋區(qū)參數(shù)的Cu橋箔,晶粒尺寸越小,其爆發(fā)時刻就越早;Cu(111)晶面擇優(yōu)取向越明顯,其爆發(fā)電流和峰值功率就會越大。
【作者單位】： 西南科技大學四川省非金屬復合與功能材料重點實驗室-省部共建國家重點實驗室培育基地;
【關(guān)鍵詞】： Cu薄膜 磁控濺射 橋箔 電爆性能
【基金】：四川省非金屬復合與功能材料重點實驗室開放基金資助項目(14zxpy04);四川省非金屬復合有功能材料重點實驗室科研創(chuàng)新團隊建設(shè)基金資助項目(14tdfk07)
【分類號】：TQ565.2;TB383.2
【正文快照】： 0引言爆炸橋箔是沖擊片雷管的核心元件,在起爆系統(tǒng)中起到能量轉(zhuǎn)換的作用:(1)吸收起爆回路輸出的脈沖能量,產(chǎn)生金屬電爆炸[1];(2)通過電爆炸產(chǎn)生等離子體膨脹,剪切并驅(qū)動平整飛片高速飛行。國內(nèi)外實驗研究發(fā)現(xiàn)[2-4],爆炸橋箔的材料、形狀、橋區(qū)尺寸及厚度等參數(shù)是影響能量利用

【相似文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 倪瑞昌;;高生產(chǎn)能力的在線平面磁控濺射系統(tǒng)[J];玻璃;1988年03期

2 王德苗,孫禮本;磁控濺射塑料金屬化新工藝的研究[J];塑料工業(yè);1986年03期

3 揚;磁控濺射非晶態(tài)金屬涂層[J];兵器材料科學與工程;1987年03期

4 黃寧康;王明華;申勇;郭華聰;王賢恩;;磁控濺射司太立合金簿膜[J];電力技術(shù);1987年06期

5 徐凈人,滕鑫康;高溫超導體磁控濺射電極接點的研究[J];稀有金屬材料與工程;1991年03期

6 劉虎先;磁控濺射節(jié)能防窺鍍膜玻璃[J];中國建材;1993年03期

7 劉虎先;;磁控濺射節(jié)能防窺鍍膜玻璃在萊州問世[J];建材工業(yè)信息;1993年13期

8 徐政;俞曉正;蔡楚江;沈志剛;;空心微珠表面磁控濺射和化學鍍金屬膜的特性比較[J];過程工程學報;2006年S2期

9 王福會,樓翰一;影響磁控濺射不銹鋼粘附性的因素[J];材料科學進展;1989年02期

10 黃建民;高瑞珍;;磁控濺射最佳工藝參數(shù)的研究[J];表面技術(shù);1989年04期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 梁愛鳳;楊化偉;王宇鋼;;磁控濺射與離子鍍技術(shù)在高分子核孔膜中的沉積形貌研究[A];2008年全國荷電粒子源、粒子束學術(shù)會議暨中國電工技術(shù)學會第十二屆電子束離子束學術(shù)年會、中國電子學會焊接專業(yè)委員會第九屆全國電子束焊接學術(shù)交流會、粒子加速器學會第十一屆全國離子源學術(shù)交流會、中國機械工程學會焊接分會2008年全國高能束加工技術(shù)研討會、北京電機工程學會第十屆粒子加速器學術(shù)交流會論文集[C];2008年

2 楊種田;楊兵;周霖;劉傳勝;葉明生;付德君;;多弧-中頻磁控濺射沉積Ti-Si-N結(jié)構(gòu)與性能[A];2008年全國荷電粒子源、粒子束學術(shù)會議暨中國電工技術(shù)學會第十二屆電子束離子束學術(shù)年會、中國電子學會焊接專業(yè)委員會第九屆全國電子束焊接學術(shù)交流會、粒子加速器學會第十一屆全國離子源學術(shù)交流會、中國機械工程學會焊接分會2008年全國高能束加工技術(shù)研討會、北京電機工程學會第十屆粒子加速器學術(shù)交流會論文集[C];2008年

3 王軍生;童洪輝;趙嘉學;韓大凱;戴彬;;影響磁控濺射均勻性的因素[A];第十三屆全國等離子體科學技術(shù)會議論文集[C];2007年

4 鄭華;劉實;于洪波;王隆保;施力群;劉超卓;;磁控濺射方法制備含氦鈦膜及氦的熱解吸研究[A];第八屆全國核靶技術(shù)學術(shù)交流會論文摘要集[C];2004年

5 王成彪;于翔;劉陽;于德洋;呂建國;;三種中頻對靶磁控濺射類金剛石膜的性能比較[A];第六屆全國表面工程學術(shù)會議論文集[C];2006年

6 張龍;朱健;吳t，

本文編號：659119