發(fā)布時間：2017-08-10 11:28

  本文關(guān)鍵詞：聚焦離子束加工中的缺陷及成因

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【摘要】：聚焦離子束技術(shù)作為一種直接加工微納米結(jié)構(gòu)的工具,在很多領(lǐng)域有著重要的應(yīng)用。但在實際應(yīng)用中,它并不能總是如人所愿,加工出的結(jié)構(gòu)有時會產(chǎn)生缺陷。如在切割截面時會形成傾斜側(cè)壁、窗簾結(jié)構(gòu);在刻蝕平面結(jié)構(gòu)時形成非均勻的底面;在利用氣體注入系統(tǒng)誘導(dǎo)沉積生長結(jié)構(gòu)后殘留污染物等。本文將剖析聚焦離子束加工中這些常見缺陷產(chǎn)生的根源,探討減輕或消除這些缺陷的方法。
【作者單位】： 北京大學(xué)量子材料科學(xué)中心;
【關(guān)鍵詞】： 聚焦離子束 加工缺陷 傾斜側(cè)壁 窗簾結(jié)構(gòu) 溝道效應(yīng)
【分類號】：TB383.1
【正文快照】： 聚焦離子束(FIB)是近些年發(fā)展起來的一種微納米加工技術(shù),其基本原理與掃描電子顯微鏡(SEM)類似。它采用離子源發(fā)射的離子束經(jīng)過加速聚焦后作為入射束,由于離子與固體相互作用可以激發(fā)二次電子和二次離子,因此FIB與SEM一樣可以用于獲取樣品表面的形貌圖像;高能量的離子與固體表

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本文編號：650465