本文關鍵詞：基于Mueller矩陣成像橢偏儀的納米結構幾何參數(shù)大面積測量

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【摘要】：為了實現(xiàn)有效的工藝監(jiān)控,在批量化納米制造中對納米結構的關鍵尺寸等幾何參數(shù)進行快速、低成本、非破壞性的精確測量具有十分重要的意義.光學散射儀目前已經(jīng)發(fā)展成為批量化納米制造中納米結構幾何參數(shù)在線測量的一種重要手段.傳統(tǒng)光學散射測量技術只能獲得光斑照射區(qū)內(nèi)待測參數(shù)的平均值,而對小于光斑照射區(qū)內(nèi)樣品的微小變化難以準確分析.此外,由于其只能進行單點測試,必須要移動樣品臺進行掃描才能獲得大面積區(qū)域內(nèi)待測參數(shù)的分布信息,從而嚴重影響測試效率.為此,本文將傳統(tǒng)光學散射測量技術與顯微成像技術相結合,提出利用Mueller矩陣成像橢偏儀實現(xiàn)納米結構幾何參數(shù)的大面積快速準確測量.Mueller矩陣成像橢偏儀具有傳統(tǒng)Mueller矩陣橢偏儀測量信息全、光譜靈敏度高的優(yōu)勢,同時又有顯微成像技術高空間分辨率的優(yōu)點,有望為批量化納米制造中納米結構幾何參數(shù)提供一種大面積、快速、低成本、非破壞性的精確測量新途徑.
【作者單位】： 華中科技大學數(shù)字制造裝備與技術國家重大實驗室;武漢頤光科技有限公司;
【關鍵詞】： 納米結構 納米測量 光學散射測量 Mueller矩陣成像橢偏儀
【基金】：國家自然科學基金(批準號:51475191,51405172) 國家重大科學儀器設備開發(fā)專項(批準號:2011YQ160002) 中國博士后科學基金(批準號:2014M560607,2015T80791) 湖北省自然科學基金(批準號:2015CFB278) 教育部長江學者與創(chuàng)新團隊發(fā)展計劃(批準號:IRT13017)資助的課題~~
【分類號】：TB383.1;TH74
【正文快照】： 為了實現(xiàn)有效的工藝監(jiān)控,在批量化納米制造中對納米結構的關鍵尺寸等幾何參數(shù)進行快速、低成本、非破壞性的精確測量具有十分重要的意義.光學散射儀目前已經(jīng)發(fā)展成為批量化納米制造中納米結構幾何參數(shù)在線測量的一種重要手段.傳統(tǒng)光學散射測量技術只能獲得光斑照射區(qū)內(nèi)待測參

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本文編號：595407