本文關鍵詞：MPCVD制備大面積自支撐金剛石膜研究進展，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：金剛石膜因其優(yōu)異的物理化學性質(zhì)備受關注,而大面積自支撐金剛石膜因其結構完整性在各大領域的應用范圍更勝一籌。綜述了大面積自支撐金剛石膜的、研究進展和影響其沉積均勻性和沉積速率的因素。表明微波頻率越高,沉積速率越快;而氣體流速對沉積速率的影響呈現(xiàn)先增大后減少的趨勢;基片臺的設計對金剛石的均勻性至關重要;輔助氣體對金剛石膜的影響與添加的氣體種類有關,微量N_2、O_2的加入可以提高沉積速率。最后對大面積自支撐金剛石在紅外窗口的應用進行展望。
【作者單位】： 武漢工程大學湖北省等離子體化學與新材料重點實驗室;
【關鍵詞】： 金剛石膜 大面積 自支撐 均勻性 沉積速率
【基金】：國家自然科學基金(No.11175137) 武漢工程大學教育創(chuàng)新基金(No.CX2015025)
【分類號】：TQ163;TB383.2
【正文快照】： 0引言金剛石膜擁有眾多優(yōu)異的性質(zhì),比如硬度高、化學穩(wěn)定性好、熱導率高、從真空紫外到遠紅外都有的高透光率等,因此在各大領域都有著廣泛的應用[1-4]。而大面積自支撐金剛石膜由于其結構完整性,應用范圍相比普通金剛石膜更廣,在電子熱管理、光學窗口、高功率微波窗口等方面的

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  本文關鍵詞：MPCVD制備大面積自支撐金剛石膜研究進展，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

本文編號：433162