復(fù)合薄膜因其可具有比單組份薄膜更加優(yōu)異的性能而得到廣泛的應(yīng)用。通過以膜層的防護(hù)、催化、電學(xué)、光學(xué)以及力學(xué)性能等復(fù)合思想為切入點(diǎn),闡述了通過膜層的復(fù)合摻雜旨在增強(qiáng)合金的抗腐蝕性,提高潤滑摩擦性能,改善膜層的導(dǎo)電性能以及進(jìn)行光學(xué)薄膜折射率和光譜吸收的調(diào)控,增強(qiáng)膜層的硬度及拉伸強(qiáng)度等機(jī)械性能的方法。對國內(nèi)外的相關(guān)前沿成果進(jìn)行簡要介紹,并對復(fù)合薄膜的未來發(fā)展進(jìn)行展望,為相關(guān)領(lǐng)域的研究提供參考。

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