針對物體表面形貌無損探測,提出了一種基于大面積薄膜晶體管(TFT)和聚偏氟乙烯(PVDF)薄膜的表面形貌探測方法,具有大面積、可覆形、便攜化和高精度的特點。該方法利用電容傳感器原理,將已廣泛應用于半導體顯示領(lǐng)域的TFT陣列與傳感器相結(jié)合,可精確定位物體表面微米級缺陷,測量分辨率達到50μm,實現(xiàn)了對物體表面形貌的精準無損探測。

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