該文采用射頻反應(yīng)磁控濺射方法在藍寶石(0001)基底上沉積了不同氮氬流量比下的ErAlN薄膜,并基于ErAlN薄膜制備了聲表面波(SAW)濾波器。結(jié)果表明,隨著氮氬流量比的增加,薄膜結(jié)晶質(zhì)量和c軸取向先變好再變差,表面粗糙度先減小后增加,當(dāng)V(N₂)∶V(Ar)=12∶17時,ErAlN薄膜具有最好的結(jié)晶質(zhì)量和最小的表面粗糙度。基于ErAlN薄膜制備的SAW濾波器在273～288 MHz均有諧振效應(yīng),當(dāng)V(N₂)∶V(Ar)=12∶17時,SAW濾波器具有最小的插入損耗和最大的傳輸系數(shù)。

【文章頁數(shù)】：3 頁

【文章目錄】：
0 引言
1 實驗
2 分析和討論
    2.1 晶體結(jié)構(gòu)
    2.2 SAW器件的聲波性能
3 結(jié)束語



本文編號：3855924