對(duì)應(yīng)用于太陽(yáng)能光熱領(lǐng)域的TiO₂進(jìn)行摻氮,并與不銹鋼(stainless steel,SS)復(fù)合,采用磁控濺射法制備SS-TiON(HMVF,high metal volume fraction)/SS-TiON(LMVF,low metal volume fraction)串聯(lián)雙吸收層,并制備4層結(jié)構(gòu)的太陽(yáng)能光譜選擇性吸收光熱薄膜Cu/SS-TiON(HMVF)/SS-TiON(LMVF)/Al₂O₃。利用紫外–可見(jiàn)分光光度計(jì)、紅外光譜儀、吸收率發(fā)射率測(cè)試儀、X射線光電子能譜儀與原子力顯微鏡等表征該太陽(yáng)能光熱吸收薄膜的光學(xué)性能、成分、結(jié)構(gòu)與形貌。結(jié)果表明,通過(guò)優(yōu)化雙吸收層的厚度與成分,沉積在Al基底上的Cu/SS-TiON(HMVF)/SS-TiON(LMVF)/Al₂O₃太陽(yáng)能選擇性吸收薄膜,具有較高的吸收率(0.902)和較低的發(fā)射率(0.052)。該膜系經(jīng)400℃高溫條件下大氣退火2 h后,由于出現(xiàn)晶粒團(tuán)聚現(xiàn)象,光學(xué)性能有所下降。

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本文編號(hào)：3813317