發(fā)布時間：2023-04-09 02:28

　　力學敏感單元作為力學傳感檢測技術的核心單元,力敏傳感技術在航空航天、工程設施、醫(yī)療、石油開采等生活、生產的各個領域都存在廣泛的應用。研究了納米ZnO/PDMS復合薄膜的制備,以及復合薄膜在加速度計中的應用。以納米ZnO顆粒為填充粒子,以聚二甲基硅氧烷(PDMS)為聚合物,采用機械共混法制備了納米ZnO/PDMS復合薄膜,并研究了復合薄膜的制作工藝、微觀結構及力敏特性;并循序漸進地設計了復合薄膜在1G加速度內的力敏特性測試。通過測試和計算可得實驗中加速度計的靈敏度最大可達到0.484 p F/gn,驗證該復合薄膜結構應用到加速度計中的可行性,為基于復合薄膜結構的加速度計力敏效應的驗證奠定了理論依據(jù)和測試基礎。

【文章頁數(shù)】：7 頁

【文章目錄】：
1 納米復合薄膜的制備及結構表征
    1.1 納米復合薄膜的制備
    1.2 納米Zn O/PDMS復合薄膜形貌特性表征
2 納米Zn O復合薄膜力敏特性研究
    2.1 復合薄膜的測試方法
    2.2 納米Zn O復合薄膜力敏特性測試
        2.2.1 電阻對應力以及不同密度和尺寸的敏感
        2.2.2 電容對應力以及不同密度和尺寸的敏感
        2.2.3 阻抗實部對應力以及不同密度和尺寸的敏感
        2.2.4 阻抗虛部對應力以及不同密度和尺寸的敏感
3 納米Zn O復合薄膜在加速度計中的應用基礎研究
    3.1 納米Zn O敏感檢測元件的制作及測試系統(tǒng)的搭建
    3.3 納米Zn O敏感元件在加速度計上的應用測試
        3.3.1 電阻對應力以及不同密度和尺寸的敏感
        3.3.2 電容對應力以及不同密度和尺寸的敏感
        3.3.3 阻抗實部對應力以及不同密度和尺寸的敏感
        3.3.4 阻抗虛部對應力以及不同密度和尺寸的敏感
4 結論



本文編號：3786899