目的解決物理濺射沉積法制備的無(wú)機(jī)氧化物類高阻隔包裝材料柔韌性不足,使用過(guò)程中易脆裂的問(wèn)題。方法采用射頻磁控濺射技術(shù)（RF）,以氧化鋅（ZnO）、聚酰亞胺（PI）為靶材,在PET塑料表面同時(shí)沉積制備ZnO/PI/PET復(fù)合薄膜。詳細(xì)分析PI的引入對(duì)ZnO阻隔層微觀結(jié)構(gòu)以及性能的影響,優(yōu)化ZnO/PI/PET的濺射制備工藝。結(jié)果沉積層微觀形貌及包裝性能受濺射功率密度比（PZnO/PPI）的影響較大。隨著PZnO/PPI的降低,沉積層PI含量增加,阻隔層納米顆粒由燕麥形狀向球形轉(zhuǎn)變,球徑呈降低趨勢(shì)。沉積層柔韌性提升明顯,經(jīng)過(guò)100次折疊后,沒(méi)有明顯裂紋產(chǎn)生（PZnO/PPI≤2）。在PZnO/PPI為2,氬氣流量為40 mL/min,沉積時(shí)間為30 min,工作氣壓為0.5 Pa的條件下,ZnO/PI/PET復(fù)合阻隔薄膜對(duì)水蒸氣、氧氣的阻隔能力最為理想,水蒸氣透過(guò)率為0.342g/（m~2?d）,氧氣透過(guò)率為0.365mL/（m~2?d）。結(jié)論適量PI片段的引入可以有效提升無(wú)機(jī)氧化物阻隔層的柔韌性及耐折疊能力,還可進(jìn)一步提升復(fù)合沉積膜對(duì)水蒸氣、氧氣等氣體小分子的阻隔能力。 

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【文章目錄】：
1 實(shí)驗(yàn)
    1.1 材料與儀器
    1.2 Zn O/PI/PET復(fù)合薄膜的制備
    1.3 柔韌性測(cè)試
2 結(jié)果與分析
    2.1 雙靶材功率密度比對(duì)薄膜組分的影響
    2.2 雙靶材功率密度比對(duì)薄膜結(jié)晶的影響
    2.3 雙靶材功率密度比對(duì)薄膜微觀形貌的影響
    2.4 雙靶材功率密度比對(duì)薄膜阻隔能力的影響
    2.5 氬氣流量對(duì)薄膜阻隔能力的影響
    2.6 沉積時(shí)間對(duì)薄膜阻隔能力的影響
    2.7 柔韌性的測(cè)試
3 結(jié)語(yǔ)


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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本文編號(hào)：3681866