采用反應(yīng)磁控濺射的方法,利用Zr靶與TiSi復(fù)合靶成功制備了不同TiSiN層厚度的ZrN/TiSiN納米多層膜。利用X射線衍射（XRD）、高分辨透射電子顯微鏡（HRTEM）、掃描電子顯微鏡（SEM）和納米壓痕儀研究了不同TiSiN層厚度對ZrN/TiSiN納米多層膜的微觀結(jié)構(gòu)和力學(xué)性能的影響。結(jié)果表明,ZrN/TiSiN納米多層膜主要由面心立方的ZrN相組成,隨著TiSiN層厚度的增加,納米多層膜的結(jié)晶程度先增加后降低,其硬度和彈性模量也先升高后降低。當(dāng)TiSiN層厚度為0.7nm時,納米多層膜具有最高的硬度和彈性模量,分別為28.7和301.1GPa,遠(yuǎn)超過ZrN單層膜。ZrN/TiSiN納米多層膜的強(qiáng)化效果可由交變應(yīng)力場和模量差理論進(jìn)行解釋。 

【文章來源】：功能材料. 2016,47(01)北大核心CSCD

【文章頁數(shù)】：5 頁

【文章目錄】：
1 引言
2 實驗材料與方法
    2.1 薄膜的制備
    2.2 薄膜的表征與測試
3 實驗結(jié)果與討論
    3.1 TiSiN層厚度對ZrN/TiSiN納米多層膜微觀組織的影響
    3.2 TiSiN層厚度對ZrN/TiSiN納米多層膜力學(xué)性能的影響
4 結(jié)論


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]微量Al摻雜對TiN微觀結(jié)構(gòu)及性能的影響[J]. 蘇永要,王錦標(biāo),田亮亮,趙海波,涂銘旌,趙黎寧,鄧濤.  功能材料. 2013(18)
[2]陶瓷硬質(zhì)納米多層膜研究進(jìn)展[J]. 孔明,岳建嶺,李戈揚(yáng).  無機(jī)材料學(xué)報. 2010(02)
[3]AlN/BN納米結(jié)構(gòu)多層膜微結(jié)構(gòu)及力學(xué)性能[J]. 喻利花,董師潤,許俊華.  物理學(xué)報. 2008(12)
[4]TiN/TaN多層膜的結(jié)構(gòu)和摩擦學(xué)性能[J]. 安健,張慶瑜.  摩擦學(xué)學(xué)報. 2005(01)
[5]超硬材料薄膜涂層研究進(jìn)展及應(yīng)用[J]. 呂反修.  熱處理. 2004(04)



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