基于國內外研究成果,對薄膜壓電系數(shù)測試方法進行了分類介紹,如基于正壓電效應的垂直壓力加載法、氣動加載法、懸臂梁法和基于逆壓電效應的激光干涉法、顯微鏡法,X射線衍射法,還有采用間接測量的體聲波和表面聲波法、復合諧振法等�；趬弘娤禂�(shù)測試研究現(xiàn)狀,匯報了測試方法的最新研究進展。隨著高通量實驗的快速發(fā)展,高通量測試方法已經(jīng)逐漸成為材料測試的發(fā)展方向。對于壓電薄膜壓電系數(shù)的高通量測量,懸臂梁法以及X射線衍射法有望實現(xiàn)多個試樣并行測試,顯著提高實驗效率,可以為材料模擬計算提供數(shù)據(jù)支持,同時對模擬計算的結果提供實驗驗證。 

【文章來源】：傳感器與微系統(tǒng). 2020,39(10)CSCD

【文章頁數(shù)】：4 頁

【文章目錄】：
0 引言
1 測試原理
2 薄膜壓電材料壓電系數(shù)測試方法
    2.1 直接測試方法
        2.1.1 垂直壓力加載
        2.1.2 氣動壓力加載
        2.1.3 懸臂梁法
        2.1.4 激光干涉法
        2.1.5 顯微鏡法
        2.1.6 X射線衍射法
    2.2 間接測試方法
        2.2.1 體聲波和表面聲波法
        2.2.2 復合諧振法
3 結束語


【參考文獻】：
期刊論文
[1]動態(tài)諧振法測量縱向壓電應變常數(shù)的不確定度評定[J]. 張瑞紋,何龍標,祝海江,楊平.  計量學報. 2015 (04)
[2]薄膜壓電系數(shù)測量方法的研究進展[J]. 董佳麗,相文峰,趙昆,岳義,賀卓,趙嵩卿.  微納電子技術. 2014(01)
[3]薄/厚膜壓電參數(shù)測量方法的研究進展[J]. 王青萍,姜勝林,熊龍宇,曾亦可.  材料導報. 2009(21)

碩士論文
[1]壓電陶瓷的縱向應變常數(shù)測量研究[D]. 張瑞紋.北京化工大學 2014



本文編號：3288668