針對現(xiàn)有材料表面鍍膜裝置缺乏表面質量監(jiān)控和反饋系統(tǒng),研制出一套基于激光微懸臂梁的納米薄膜生長厚度檢測系統(tǒng)。該平臺由微懸臂梁、激光發(fā)射單元、壓電陶瓷單元、光電探測器單元、伺服電機和人機界面組成。將檢測結果反饋給鍍膜系統(tǒng),及時調整鍍膜工藝參數(shù),實現(xiàn)快速表征、精準鍍膜。實驗表明:該納米薄膜生長厚度檢測平臺能夠在鍍膜過程中實時監(jiān)控薄膜厚度,精度可達±3 nm。 

【文章來源】：電子顯微學報. 2020,39(02)北大核心CSCD

【文章頁數(shù)】：6 頁

【部分圖文】：

磁控濺射原位檢測平臺結構示意圖。

激光微懸臂梁檢測原理。

平臺設計框圖。

【參考文獻】：
期刊論文
[1]基于LabVIEW和單片機的自動控制系統(tǒng)綜合實驗[J]. 高宏巖,王譽錢.  實驗技術與管理. 2019(01)
[2]適用于AFM的數(shù)字智能反饋控制器設計[J]. 王艷艷,吳森.  電子顯微學報. 2017(02)
[3]AFM反饋系統(tǒng)仿真模型的建立及實驗[J]. 王艷艷.  電子顯微學報. 2016(03)
[4]納米薄膜及相應三維結構的構建、特性及應用[J]. 黃高山,梅永豐.  中國科學:技術科學. 2016(02)
[5]AFM微懸臂梁探針彈性常數(shù)各種標定方法的比較與分析[J]. 宋云鵬,吳森,傅星,徐臨燕.  傳感技術學報. 2015(08)
[6]用四象限光電探測器獲得光斑參數(shù)[J]. 林志琦,李會杰,郎永輝,尹福昌.  光學精密工程. 2009(04)
[7]原子力顯微鏡的基本原理及其方法學研究[J]. 朱杰,孫潤廣.  生命科學儀器. 2005(01)

碩士論文
[1]橢偏儀校準方法研究[D]. 劉玉龍.中國計量科學研究院 2014
[2]光電二極管放大電路設計[D]. 陳彥濤.陜西師范大學 2014



本文編號：3210602