【摘要】：為研究過(guò)渡層材料及結(jié)構(gòu)對(duì)TiCN涂層性能的影響,設(shè)計(jì)3種Cr基及其化合物過(guò)渡層,利用多弧離子鍍技術(shù)制備TiCN涂層。膜系分別為Cr/TiCN、Cr/CrN/TiCN和Cr/CrN/CrCN/TiCN。利用SEM、XRD、納米壓痕儀、劃痕儀、摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)和球磨儀對(duì)涂層的微觀結(jié)構(gòu)和性能進(jìn)行表征。結(jié)果表明:隨著過(guò)渡層由單層Cr依次加入CrN和CrCN,涂層原有的柱狀晶生長(zhǎng)被抑制并最終消除。與具有Ti過(guò)渡層的TiCN相比,涂層不再具有明顯擇優(yōu)取向,(111)峰強(qiáng)度大大減弱而(200)峰發(fā)生寬化。具有CrN和CrCN過(guò)渡層的樣品硬度和附著力明顯高于以單層Cr為過(guò)渡層的樣品,Cr/CrN/CrCN/TiCN膜系硬度和附著力最高,分別為(30.11±0.34)GPa和(37.21±0.46)N。摩擦磨損試驗(yàn)結(jié)果表明:CrCN過(guò)渡層的引入顯著提升了涂層耐磨性,其對(duì)應(yīng)樣品摩擦因數(shù)最低,達(dá)到0.111,并在球磨測(cè)試中表現(xiàn)穩(wěn)定,而其它膜系均出現(xiàn)不同程度的磨損形貌。
【作者單位】： 山東大學(xué)(威海)空間科學(xué)與物理學(xué)院;
【基金】：山東省科技發(fā)展計(jì)劃(2014GGX102022)~~
【分類號(hào)】：TB306

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本文編號(hào)：2546062