發(fā)布時間：2018-07-20 17:58

【摘要】：橢偏法在材料的光學(xué)性質(zhì)和薄膜厚度檢測中發(fā)揮著重要的作用,橢偏測量也已納入很多高校的實驗教學(xué)內(nèi)容。針對實驗教學(xué)中原理展示性不足、與科研實際結(jié)合不緊密的問題,對課程形式和內(nèi)容進行了改變。制作了光譜橢偏儀器件裝配和動態(tài)測量視頻,增加橢偏測量教學(xué)中的原理展示性,加強理論貫通性,聯(lián)系科研實際,增加實驗內(nèi)容,通過對不同類型樣品的測量分析討論,培養(yǎng)學(xué)生解決實際問題的能力和創(chuàng)造性思維。
[Abstract]:Ellipsometry plays an important role in measuring the optical properties of materials and the thickness of films. Ellipsometry has also been included in the experimental teaching contents of many colleges and universities. In order to solve the problem that the principle is not sufficiently demonstrated in experimental teaching and is not closely combined with the practice of scientific research, the course form and content are changed. The assembly and dynamic measurement video of spectroscopic ellipsometry parts are made, the principle demonstration in ellipsometry teaching is increased, the theoretical penetration is strengthened, the scientific research practice is combined, the experimental content is added, and the measurement and analysis of different kinds of samples are discussed. Cultivate students' ability to solve practical problems and creative thinking.
【作者單位】： 大連理工大學(xué)機械工程學(xué)院;
【基金】：中國學(xué)位與研究生教育研究課題(B1-2015Y0504-029) 大連理工大學(xué)教改基金項目(JG2016026,ZD2016008) 遼寧重大裝備制造協(xié)同創(chuàng)新中心研究生校內(nèi)實踐基地建設(shè)基金項目
【分類號】：G642;TB302-4

【相似文獻】

相關(guān)期刊論文 前6條

1 楊新亞,秦克剛;加強材料測試實驗教學(xué)的思考[J];建材高教理論與實踐;2000年04期

2 陳宇飛;孟大偉;;高分子材料專業(yè)“聚合物基復(fù)合材料”課程實驗教學(xué)改革培養(yǎng)模式探討[J];時代教育;2014年07期

3 孫建林;熊小濤;于廣華;杜振民;;傳承與創(chuàng)新——建設(shè)國家級材料教學(xué)實驗示范中心服務(wù)本科實驗教學(xué)與創(chuàng)新人才培養(yǎng)[J];實驗技術(shù)與管理;2011年06期

4 偠立;姚亞東;張萍;劉恒;張云;楊為中;黃永前;周大利;;加強實驗教學(xué),培養(yǎng)無機非金屬材料工程創(chuàng)新人才[J];實驗技術(shù)與管理;2006年03期

5 劉玉蘭;彭永利;孫勇;季家友;;材料類實驗教學(xué)改革初探[J];中國科教創(chuàng)新導(dǎo)刊;2011年28期

6 蔣長明;加強實驗指導(dǎo),提高學(xué)生實際動手能力[J];成都電子機械高等專科學(xué)校學(xué)報;2005年03期

，

本文編號：2134307