發(fā)布時間：2018-03-28 04:10

  本文選題：W-C　切入點：H薄膜　出處：《表面技術(shù)》2017年11期

【摘要】：目的研究不同濺射功率對W-C:H涂層結(jié)構(gòu)與摩擦學性能的影響。方法用非平衡磁控濺射(UBMS)+等離子體增強化學氣相沉積法(PECVD),以WC靶作為濺射靶,C2H2為反應(yīng)氣體,通過調(diào)制濺射靶功率,在316不銹鋼與Si(100)基體上制備了W-C:H系列薄膜。通過場發(fā)射電鏡(FESEM)、X射線衍射儀(XRD)、拉曼光譜對薄膜的微觀結(jié)構(gòu)和成分進行了表征。用UMT-3MT多功能摩擦機對薄膜的摩擦學性能進行了分析。結(jié)果 W-C主要以β-WC1-x納米晶的形式均勻分布在非晶碳中,并表現(xiàn)出(200)面擇優(yōu)生長。隨著濺射靶功率的上升,薄膜內(nèi)W含量逐漸升高,(200)面衍射峰逐漸增強,sp2含量先降低后升高。靶功率在1.4 k W時具有較好的摩擦學性能,摩擦系數(shù)為0.15,磨損率為3.92×10-7 mm~3/(N·m)。結(jié)論隨著濺射靶功率逐漸升高,柱狀晶逐漸變粗,涂層的致密性逐漸降低,薄膜摩擦學性能與WC含量密切相關(guān)。
[Abstract]:Aim to study the effect of different sputtering power on the structure and tribological properties of W-C:H coating. Methods using unbalanced magnetron sputtering (UBMS) plasma enhanced chemical vapor deposition method, using WC target as sputtering target and C _ 2H _ 2 as reaction gas, the power of sputtering target was modulated. W-C:H series films were prepared on 316 stainless steel and Si-100) substrates. The microstructure and composition of the films were characterized by field emission electron microscopy (FESE) X-ray diffractometer and Raman spectroscopy. The tribological properties of the films were investigated by UMT-3MT multifunctional friction machine. Results W-C mainly distributes uniformly in amorphous carbon in the form of 尾 -WC 1-x nanocrystals. With the increase of sputtering target power, the W content in the film increases gradually, and the diffraction peak increases gradually. The content of sp2 decreases first and then increases. The target power of 1.4 kW has good tribological properties. The friction coefficient is 0.15 and the wear rate is 3.92 脳 10 ~ (-7) mm~3/(N 路m ~ (-1). Conclusion with the increasing of sputtering power, the columnar crystal becomes thicker and the compactness of the coating decreases. The tribological properties of the films are closely related to WC content.
【作者單位】： 昆明理工大學材料科學與工程學院;中國科學院寧波材料技術(shù)與工程研究所中國科學院海洋新材料與應(yīng)用技術(shù)重點實驗室浙江省海洋材料與防護技術(shù)重點實驗室;
【基金】：中國科學院戰(zhàn)略性先導科技專項(A類)資助(XDA13040602) 國家自然科學基金(51475449) 國家973計劃項目子課題(2014CB643302) 寧波市工業(yè)重大科技專項(201701ZD-A01099)~~
【分類號】：TB383.2

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本文編號：1674680