本文關(guān)鍵詞：穆勒矩陣橢偏測量實驗平臺設計與實現(xiàn)　出處：《華中科技大學》2015年碩士論文　論文類型：學位論文

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【摘要】：在納米技術(shù)研究和納米制造工藝等應用領(lǐng)域,納米結(jié)構(gòu)測量方法研究日顯重要。在納米測量實際操作中,不僅需要快捷、精確地測量出納米結(jié)構(gòu)重要三維形貌尺寸,同時需要盡可能減小對被測樣品的破壞和污染。由于傳統(tǒng)納米結(jié)構(gòu)測量手段無法同時滿足上述兩點,本學位論文在國家重大科學儀器設備開發(fā)專項的資助下,研究穆勒矩陣橢偏測量實驗平臺的設計與實現(xiàn)。主要工作如下:完成了一種雙旋轉(zhuǎn)補償器的穆勒矩陣橢偏測量光路的設計,并通過分析比較關(guān)鍵元件選型,確定了光學硬件組成。重點介紹了光學硬件平臺的設計,并結(jié)合光路設計和相應光學元件選型,將起偏光路和檢偏光路最大程度的集成到一個光學平臺上,并以此為基礎開展測量實驗平臺控制單元的搭建和調(diào)試。完成了基于雙旋轉(zhuǎn)補償器同步運動控制的設計與實現(xiàn),即通過實時采集兩個帶動補償器旋轉(zhuǎn)的電機零位信號,當兩個電機處于同步狀態(tài)時,所設計的同步信號觸發(fā)采集卡向光譜儀外部觸發(fā)接口發(fā)出光譜采集信號,完成對測量數(shù)據(jù)精確的同步采集。在測量實驗平臺所需的光學硬件和控制方案搭建完成后,對整個測量實驗平臺進行集成調(diào)試和性能優(yōu)化。首先以空氣介質(zhì)為測量對象,對測量實驗平臺的測量精度進行評估,同時對相應關(guān)鍵元件進行性能評估。然后對已知納米結(jié)構(gòu)特征的標準樣件進行測量,通過分析測量數(shù)據(jù),進一步排除影響實驗平臺測量精度的可能因素,以提高測量結(jié)果的準確性和可靠性。
[Abstract]:In the research of nanotechnology and nano manufacturing technology application, more and more research on nano structure measurement method. In nanometer measurement in the actual operation, not only the need for fast, accurate measurement of nanometer structure important 3D shape size, also need to minimize the measured sample damage and pollution. Because the traditional measurement methods to nano structure at the same time to meet the above two points, this thesis in the national key scientific instrument and equipment development projects funded by the research, design and implementation of the Muller matrix ellipsometry experiment platform. The main work is as follows: the Muller matrix of a double rotating compensator ellipsometer offset measurement optical path design, and through the analysis and comparison of key components selection, optical the hardware composition was determined. The paper mainly introduces the design of optical hardware platform, combined with the optical design and the corresponding optical element selection, will play a polarizing road and the partial seizure The maximum optical path integrated into an optical platform, and as a basis to build and debug the measurement platform control unit. The design and Realization of double synchronous rotating compensator based on motion control, through real-time acquisition of two rotating electric machine drives the compensator zero position signal, when the two motors are in sync when the synchronization signal acquisition card to design the trigger spectrometer external trigger interface to send signal spectrum, synchronous acquisition of accurate measurement data. The optical hardware and control scheme is required in the measurement experiment platform is built after the completion of the integration debugging and performance optimization of the measurement platform. The first to air medium for measurement object to evaluate the measurement accuracy of the experimental platform, and evaluate the performance of the corresponding key element. Then the known nanometer structure standard The sample is measured, and the possible factors that affect the accuracy of the experimental platform are further eliminated by analyzing the measured data, so as to improve the accuracy and reliability of the measurement results.

【學位授予單位】：華中科技大學
【學位級別】：碩士
【學位授予年份】：2015
【分類號】：TB383.1

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本文編號：1433492