發(fā)布時(shí)間：2017-12-14 16:19

  本文關(guān)鍵詞：基于單視角SEM圖像的納米操作精確定位

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【摘要】：納米操作是納米技術(shù)的重要研究?jī)?nèi)容之一,其在科學(xué)、經(jīng)濟(jì)和社會(huì)領(lǐng)域的價(jià)值已上升到重要的地位,以成為一項(xiàng)重要的研究技術(shù)。納米技術(shù)在不同的領(lǐng)域的影響也越來(lái)越廣泛,例如納米制造、納米裝配、生物醫(yī)學(xué)、納米材料、電子技術(shù)等,因而具有高效、穩(wěn)定的納米操作系統(tǒng)應(yīng)用前景廣闊。在單視角的納米操作系統(tǒng)的基礎(chǔ)上,本文針對(duì)物體的精確定位進(jìn)行深入研究。為實(shí)現(xiàn)精確定位,引入亞像素邊緣檢測(cè)和相似度,對(duì)探針的精確位置信息進(jìn)行研究;為實(shí)現(xiàn)納米線(xiàn)的精確定位,引入核密度估計(jì),對(duì)納米線(xiàn)的精確位置信息進(jìn)行研究;在實(shí)驗(yàn)過(guò)程中,探針作為主要的操控工具,其能否精確定位,決定這實(shí)驗(yàn)的成敗。根據(jù)由SEM搭建的納米操作系統(tǒng)的特點(diǎn),本文采用了粗定位與精確定位相結(jié)合的方法,實(shí)現(xiàn)對(duì)探針的快速而準(zhǔn)確的定位。在精確定位中的平面精確定位而言,本文利用亞像素邊緣檢測(cè)的原理,提取探針的準(zhǔn)確邊緣,實(shí)現(xiàn)探針的平面精確定位。而對(duì)于垂直精確定位而言,本文引入相似度原理,實(shí)現(xiàn)對(duì)探針的深度信息的提取。測(cè)驗(yàn)結(jié)果證明,圖像中探針的平面精確定位的精度能達(dá)到亞像素級(jí)別,探針的垂直精確定位也可快速的實(shí)現(xiàn)。在納米操作過(guò)程中,操作對(duì)象往往是比較小的物體(例如納米線(xiàn)),為實(shí)現(xiàn)精確的操作,必須準(zhǔn)確地獲取納米線(xiàn)的位置信息。利用核密度估計(jì)原理,提出適應(yīng)SEM圖像的小物體識(shí)別方案。再根據(jù)亞像素的精確定位原理,研究小目標(biāo)物體定位,實(shí)現(xiàn)單納米線(xiàn)的精確定位。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明納米線(xiàn)不但可以快速而準(zhǔn)確的從背景中識(shí)別出來(lái),而且納米線(xiàn)的定位精度也得到提升。針對(duì)試驗(yàn)中出現(xiàn)的納米線(xiàn)重疊的特殊情,為了提取納米線(xiàn)的位置信息,需要將重疊的納米線(xiàn)簡(jiǎn)化,使其化為單一的納米線(xiàn)形式,再根據(jù)單納米線(xiàn)位置信息提取方法獲得位置信息。
【學(xué)位授予單位】：哈爾濱理工大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2016
【分類(lèi)號(hào)】：TB383.1

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本文編號(hào)：1288551