本文關(guān)鍵詞：基于碳納米材料的柔性薄膜器件研究

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【摘要】：近年來,可穿戴或貼合式的傳感器在實(shí)時(shí)生理監(jiān)測、特殊環(huán)境信號(hào)檢測等領(lǐng)域的需求日益凸顯,柔性傳感器成為當(dāng)前研究的熱點(diǎn).碳納米管(CNT),由于其獨(dú)特的電學(xué)和力學(xué)性能,在新型電子器件的發(fā)展中扮演著越來越重要的角色.本文介紹了幾類典型的基于碳納米管的柔性紅外傳感器和微壓力傳感器.在柔性紅外傳感器的研制中,利用碳納米管與SiO_2的界面以及不同摻雜的CNT形成的p-n結(jié),設(shè)計(jì)和制備了兩種不同類型的高靈敏度柔性紅外傳感器,實(shí)驗(yàn)結(jié)果證明界面載流子行為對(duì)傳感器的響應(yīng)速度有重要的影響.另一方面,利用碳納米管的優(yōu)秀導(dǎo)電性,設(shè)計(jì)和制備了兩種力傳感器.通過銀納米顆粒修飾的碳納米管制備的柔性拉力傳感器,兼具高拉伸度和高靈敏度,具有優(yōu)秀的應(yīng)變系數(shù).此外,利用碳納米管和三棱錐的微結(jié)構(gòu)制備了響應(yīng)靈敏的微壓力傳感器,具有優(yōu)秀的響應(yīng)幅度與響應(yīng)速度.
【作者單位】： 電子科技大學(xué)電子薄膜與集成器件國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國家重點(diǎn)基礎(chǔ)研究發(fā)展計(jì)劃(編號(hào):2015CB351905) 國家自然科學(xué)基金(批準(zhǔn)號(hào):61306015,11329402)資助項(xiàng)目
【分類號(hào)】：TB383.1;O613.71
【正文快照】： 1引言率等很多性質(zhì)上都遠(yuǎn)不及傳統(tǒng)的硅等無機(jī)材料[3,4].另外,基于硅工藝的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展很成熟,從成本隨著人們生活水平的提高,柔性電子器件逐漸和工藝復(fù)雜度上來看,在工業(yè)上大面積用有機(jī)半導(dǎo)開始扮演著日益重要的角色.在實(shí)時(shí)健康檢測、植入體代替硅等,在相當(dāng)長一段時(shí)間都是

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