本文關(guān)鍵詞：厚度對TiN薄膜力學性能的影響

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【摘要】：采用電弧離子鍍方法制備了不同厚度TiN薄膜,并對其硬度、結(jié)合力、殘余應力、摩擦磨損特性等力學性能進行了系統(tǒng)性研究,以揭示硬質(zhì)薄膜厚度對其力學性能的影響規(guī)律。結(jié)果表明,隨著厚度增加,薄膜表面大顆粒增加,膜基界面剪切力增大,薄膜硬度逐漸增加,結(jié)合力逐漸下降,摩擦系數(shù)略有下降;而薄膜應力沿層深分布趨勢基本一致,都呈鐘罩形分布;磨損率隨薄膜厚度變化不大,即薄膜越厚越耐磨。
【作者單位】： 華南理工大學材料科學與工程學院;深圳職業(yè)技術(shù)學院深圳現(xiàn)代設計與制造技術(shù)重點實驗室;廣東正德材料表面科技有限公司華南理工大學中山材料表面工程與薄膜技術(shù)創(chuàng)新研發(fā)中心;
【關(guān)鍵詞】： 硬質(zhì)薄膜 力學性能 薄膜厚度 TiN 殘余應力
【基金】：國家自然科學基金項目(No.51401128) 深圳市科技計劃項目(No.JCYJ20140508155916426) 中山市科技計劃與創(chuàng)新團隊項目
【分類號】：TB383.2
【正文快照】： Ti N硬質(zhì)薄膜因其具有優(yōu)異的物理及化學性能,是目前工業(yè)上研究和應用最為廣泛的薄膜材料之一[1-3]。電弧離子鍍技術(shù)是制備Ti N薄膜的主要方法之一,它具有離化率高、沉積速率快、粒子能量大、成膜附著力高等優(yōu)點;但由于靶材表面在蒸發(fā)離化時容易產(chǎn)生大顆粒,這會導致薄膜形成很

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