火災(zāi)自動(dòng)環(huán)保型閉門器表面磁控濺射鍍膜關(guān)鍵技術(shù)的研究
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【部分圖文】:
圖2平衡磁場和非平衡磁場
磁控濺射鍍膜與其他真空鍍膜技術(shù)相比,其具有一定的功能優(yōu)勢,因?yàn)榇艌龅募尤雽?dǎo)致靶材粒子的運(yùn)動(dòng)活性增加,提高了離化率和工作效率。目前,平衡磁場和非平衡磁場是磁控濺射磁場分布的主流[7],如圖2所示。2.1逐級(jí)式的過渡沉積
圖3旋轉(zhuǎn)式柱狀磁控濺射靶結(jié)構(gòu)示意圖
閉門器表面在磁控濺射鍍膜過程中,如果采用單非平衡磁控濺射靶,會(huì)存在一些問題,如單個(gè)陰極靶作為磁控濺射靶,磁場分量對(duì)平面濺射產(chǎn)生不均勻的濺射效應(yīng),導(dǎo)致靶面形成凹入的蝕環(huán)。而在對(duì)閉門器表面進(jìn)行多次沉積鍍膜時(shí),由于不均勻、反向和選擇性濺射等現(xiàn)象,膜與工件以及膜層之間的結(jié)合不可靠,導(dǎo)致鍍....
圖1火災(zāi)自動(dòng)環(huán)保閉門器示意圖
隨著我國城市工業(yè)的發(fā)展,特別是房地產(chǎn)業(yè)規(guī)模不斷擴(kuò)大,生產(chǎn)、生活及消防等社會(huì)各領(lǐng)域?qū)ψ詣?dòng)閉門器的質(zhì)量和壽命要求越來越高,特別是具有火災(zāi)自動(dòng)閉門器的質(zhì)量和壽命更加關(guān)注[1]。由于生產(chǎn)條件及品質(zhì)原因,國內(nèi)廠家生產(chǎn)的閉門器產(chǎn)品大多不能達(dá)到歐美防火閉門器相關(guān)指標(biāo),特別是使用壽命一項(xiàng),目前國....
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