本文關(guān)鍵詞：基于窄帶水平集算法的三維表面工藝模擬系統(tǒng)（英文）

  更多相關(guān)文章： MEMS 仿真系統(tǒng) 三維表面微機(jī)械加工工藝 窄帶水平集

【摘要】：表面工藝是MEMS制造的一種重要方法,實(shí)現(xiàn)其加工過(guò)程的計(jì)算機(jī)仿真可以為相關(guān)MEMS工藝研究和器件開(kāi)發(fā)提供技術(shù)支持,減少相關(guān)MEMS產(chǎn)品的開(kāi)發(fā)成本,縮短其開(kāi)發(fā)周期。基于窄帶水平集算法完成了表面加工工藝的三維表面工藝模擬系統(tǒng)。窄帶水平集算法穩(wěn)定,計(jì)算速度快處理拓?fù)渥冃畏浅ｌ`活,本文將其應(yīng)用于該軟件仿真系統(tǒng)中,并進(jìn)行了一列的仿真實(shí)驗(yàn),將仿真結(jié)果與實(shí)際的流片電鏡圖對(duì)比,驗(yàn)證了仿真系統(tǒng)的精確性。
【作者單位】： 東南大學(xué)MEMS教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： MEMS 仿真系統(tǒng) 三維表面微機(jī)械加工工藝 窄帶水平集
【基金】：國(guó)家863計(jì)劃項(xiàng)目(2015AA042604)
【分類(lèi)號(hào)】：TH-39;TP391.9
【正文快照】： The surface micromachining process has a good compatibility with the CMOS technology,and at the same time it is also one of the most common and commercialized processing techniques,and one core technology for the super-large-scale integration.It can take

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 李宏友;汪同慶;葉俊勇;劉青;;一種新的水平集進(jìn)化模型[J];儀器儀表學(xué)報(bào);2008年07期

2 李靜;王軍政;梁少敏;沈偉;;基于改進(jìn)水平集的多運(yùn)動(dòng)目標(biāo)檢測(cè)方法[J];北京理工大學(xué)學(xué)報(bào);2011年05期

3 曾文曲;孫洪祥;;穩(wěn)定隨機(jī)游動(dòng)水平集的離散豪斯道夫維數(shù)[J];工業(yè)工程;1993年01期

4 馮艷玲;陳真誠(chéng);何繼善;張陽(yáng)德;;基于水平集的組織熱損傷區(qū)域自動(dòng)檢測(cè)[J];測(cè)試技術(shù)學(xué)報(bào);2008年06期

5 田輝;王琳琳;葉陽(yáng)輝;李國(guó)君;;一種改進(jìn)的高效粒子水平集法及其應(yīng)用[J];西安交通大學(xué)學(xué)報(bào);2011年11期

6 鄭罡;王惠南;;基于廣義背景填充的塔式多相水平集的腦腫瘤分割算法(英文)[J];Transactions of Nanjing University of Aeronautics & Astronautics;2007年01期

7 曾玉華;;一種基于重點(diǎn)樣本的積分水平集算法[J];長(zhǎng)江大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版)理工卷;2009年04期

8 謝強(qiáng)軍;侯迪波;黃平捷;張光新;周澤魁;;基于半隱差分的單參數(shù)水平集快速分割[J];浙江大學(xué)學(xué)報(bào)(工學(xué)版);2010年08期

9 薛維琴;周志勇;鄭健;張濤;;含先驗(yàn)形狀的水平集血管分割方法[J];計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)與圖形學(xué)學(xué)報(bào);2013年08期

10 張迪;徐暉;;擴(kuò)展有限元方法和水平集理論在裂紋擴(kuò)展中的應(yīng)用[J];兵工自動(dòng)化;2012年11期

中國(guó)重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前8條

1 王一波;胡仲翔;姚耀;;基于水平集的激光條紋提取方法[A];2009全國(guó)虛擬儀器大會(huì)論文集（一）[C];2009年

2 田昊;楊劍;李國(guó)輝;;基于變分水平集的遙感影像建筑物檢測(cè)[A];第18屆全國(guó)多媒體學(xué)術(shù)會(huì)議（NCMT2009）、第5屆全國(guó)人機(jī)交互學(xué)術(shù)會(huì)議（CHCI2009）、第5屆全國(guó)普適計(jì)算學(xué)術(shù)會(huì)議（PCC2009）論文集[C];2009年

3 曹曉光;崔林艷;;基于閾值和水平集的尿沉渣圖像分割組合算法[A];第六屆全國(guó)信息獲取與處理學(xué)術(shù)會(huì)議論文集（1）[C];2008年

4 王斐;趙杰煜;;基于多重網(wǎng)格的水平集圖像分割方法[A];第十四屆全國(guó)圖象圖形學(xué)學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2008年

5 梅立超;姜慧研;張柳青;劉洪娟;;基于GPU和水平集的肝臟快速分割方法的研究[A];第九屆全國(guó)信息獲取與處理學(xué)術(shù)會(huì)議論文集Ⅱ[C];2011年

6 凌和良;鄔冬華;劉瑞霞;;變測(cè)度的積分型全局優(yōu)化算法[A];中國(guó)運(yùn)籌學(xué)會(huì)第七屆學(xué)術(shù)交流會(huì)論文集（下卷）[C];2004年

7 程俊霞;;水平集方程在四邊形網(wǎng)格上的數(shù)值離散方法[A];中國(guó)工程物理研究院科技年報(bào)(2008年版)[C];2009年

8 金小禮;雷作勝;張浩斌;鄧康;任忠鳴;;氣泡在不互溶兩相流體界面行為的數(shù)值模擬[A];第十三屆（2009年）冶金反應(yīng)工程學(xué)會(huì)議論文集[C];2009年

中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 韓明;基于水平集表示和均值漂移的運(yùn)動(dòng)目標(biāo)檢測(cè)與跟蹤研究[D];燕山大學(xué);2015年

2 秦傳波;基于微型機(jī)器人的自動(dòng)化顯微注射系統(tǒng)關(guān)鍵技術(shù)研究[D];華南理工大學(xué);2015年

3 劉宇;基于水平集方法和模糊模型的醫(yī)學(xué)圖像分割算法研究[D];吉林大學(xué);2016年

4 何昀;基于圖像水平集分割的航磁圖像信息提取方法研究[D];吉林大學(xué);2016年

5 楊紅U，

本文編號(hào)：514433