本文關(guān)鍵詞：精密氣浮工作臺動態(tài)特性仿真與優(yōu)化，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

【摘要】：為提高精密氣浮工作臺的工作性能,在分析氣浮軸承承載特性的基礎(chǔ)上,對氣浮工作臺進行多體動力學建模與仿真。參數(shù)化多體動力學模型,創(chuàng)建模型的設(shè)計變量與目標變量,編寫目標變量評價程序,使用Isight集成了優(yōu)化仿真模型,優(yōu)化了設(shè)計變量,提高了工作臺的穩(wěn)定性,縮短了工作臺的收斂時間。優(yōu)化結(jié)果表明:對工作臺的優(yōu)化設(shè)計改善了工作臺的穩(wěn)定性,減小了工作臺在步進掃描過程中的收斂時間與振幅。
【作者單位】： 中國工程物理研究院材料研究所;
【關(guān)鍵詞】： 精密氣浮工作臺 動態(tài)特性 參數(shù)優(yōu)化
【分類號】：TH703;TH133.3
【正文快照】： 精密氣浮工作臺由于具有運動精度高、動力學性能優(yōu)良、清潔等優(yōu)點廣泛運用于超精密儀器與設(shè)備,其典型運用便是為IC產(chǎn)業(yè)核心設(shè)備之一的光刻機提供納米級運動與定位精度。作為光刻機的核心子系統(tǒng),工作臺的動力學性能與動態(tài)特性對光刻機的精度影響至關(guān)重要。在精密氣浮工作臺工作

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