發(fā)布時間：2023-04-03 17:48

　　在“中國制造2025”的大背景下,大力提高科學(xué)儀器的精度是中國傳統(tǒng)制造業(yè)可以轉(zhuǎn)型升級,智能制造技術(shù)與裝備能夠創(chuàng)新發(fā)展的必然趨勢。振動是影響儀器精度的重要因素,特別是光學(xué)設(shè)備和光學(xué)元器件極易受振動影響,非常小的振動會導(dǎo)致聚焦不清晰;較大一點的振動會引起隨時間變化的不清晰;非常大的振動甚至?xí)斐上到y(tǒng)結(jié)構(gòu)的破壞。微小振動的隔離是超精密測量/測試儀器的核心技術(shù)之一,也是儀器精度能夠進一步提升的瓶頸。單擺隔/減振系統(tǒng)作為引力波探測系統(tǒng)地震隔離裝置中的重要部分,是儀器精度能夠進一步提升的研究熱點。而高性能執(zhí)行器的研發(fā)是隔微振技術(shù)研究的關(guān)鍵。本課題針對科學(xué)儀器精度提升的發(fā)展要求,從隔/減振技術(shù)方面入手,在單擺隔振系統(tǒng)的基礎(chǔ)上,進行了復(fù)合石英擺線微應(yīng)變執(zhí)行器的設(shè)計研究。本文的主要研究工作如下:首先,從分析超磁致伸縮材料(GMM)的磁機耦合特性和光纖光柵(FBG)的應(yīng)變特性入手,建立復(fù)合石英擺線微執(zhí)行器的磁機耦合模型;在此基礎(chǔ)上,分析單擺隔減振系統(tǒng)的基本原理,進而得到復(fù)合石英擺線的隔微振原理,為復(fù)合石英擺線微應(yīng)變執(zhí)行器的設(shè)計提供理論依據(jù)。然后,研究探討超磁致伸縮材料與光纖光柵石英擺線的耦合方式,提出了利...

【文章頁數(shù)】：64 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
ABSTRACT
第1章 緒論
    1.1 課題背景和研究意義
    1.2 超磁致伸縮薄膜執(zhí)行器的研究現(xiàn)狀
    1.3 磁致伸縮材料與光纖光柵的耦合方式研究現(xiàn)狀
        1.3.1 粘貼式
        1.3.2 表面涂覆式
    1.4 擺式隔振系統(tǒng)
    1.5 本文主要研究內(nèi)容
第2章 復(fù)合擺線微應(yīng)變執(zhí)行器隔振原理分析
    2.1 引言
    2.2 超磁致伸縮材料磁機特性
    2.3 復(fù)合擺線的應(yīng)變特性
        2.3.1 光纖光柵的應(yīng)變特性
        2.3.2 復(fù)合擺線應(yīng)變原理
    2.4 復(fù)合擺線隔微振原理分析
    2.5 本章小結(jié)
第3章 石英擺線與超磁致伸縮材料耦合工藝
    3.1 引言
    3.2 粘貼式耦合工藝
        3.2.1 磁致伸縮復(fù)合材料
        3.2.2 粘貼方法
        3.2.3 粘貼耦合結(jié)果
    3.3 鍍膜式耦合工藝
        3.3.1 鍍膜方法
        3.3.2 鍍膜耦合結(jié)果
    3.4 本章小結(jié)
第4章 復(fù)合石英擺線微應(yīng)變執(zhí)行器結(jié)構(gòu)設(shè)計
    4.1 引言
    4.2 驅(qū)動磁場結(jié)構(gòu)
    4.3 驅(qū)動磁場結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計
    4.4 復(fù)合石英擺線微應(yīng)變執(zhí)行器整體結(jié)構(gòu)設(shè)計
        4.4.1 整體結(jié)構(gòu)設(shè)計
        4.4.2 整體結(jié)構(gòu)COMSOL仿真
    4.5 本章小結(jié)
第5章 復(fù)合石英擺線微應(yīng)變執(zhí)行器實驗與分析
    5.1 引言
    5.2 實驗系統(tǒng)的搭建
    5.3 不同耦合方式復(fù)合擺線實驗效果對
    5.4 復(fù)合石英擺線微應(yīng)變執(zhí)行器特性實驗
        5.4.1 光譜儀測量對比實驗
        5.4.2 復(fù)合擺線分辨力實驗
        5.4.3 復(fù)合擺線行程實驗
        5.4.4 復(fù)合擺線靈敏度實驗
        5.4.5 復(fù)合擺線重復(fù)性實驗
    5.5 減振結(jié)果測試
    5.6 本章小結(jié)
結(jié)論
參考文獻
致謝



本文編號：3780862