機(jī)電系統(tǒng)建模和動(dòng)態(tài)仿真分析是光刻機(jī)設(shè)計(jì)過(guò)程中確保整機(jī)系統(tǒng)穩(wěn)定性和高精度的關(guān)鍵步驟。已有相關(guān)建模仿真軟件對(duì)于復(fù)雜光刻機(jī)機(jī)電系統(tǒng)設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)流程支撐不足,沒(méi)有融入多領(lǐng)域的設(shè)計(jì)知識(shí),亟需開(kāi)發(fā)一款針對(duì)性強(qiáng)的光刻機(jī)機(jī)電系統(tǒng)高效動(dòng)態(tài)仿真軟件。本文基于動(dòng)態(tài)設(shè)計(jì)理念設(shè)計(jì)與開(kāi)發(fā)一款面向光刻機(jī)精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)機(jī)電系統(tǒng)設(shè)計(jì)的軟件動(dòng)態(tài)仿真軟件。該軟件封裝集成了光刻機(jī)關(guān)鍵組件、系統(tǒng)模型動(dòng)力學(xué)建模和分析方法,能夠有機(jī)地融入到研發(fā)單位的設(shè)計(jì)規(guī)程中,從而輔助設(shè)計(jì)人員快速實(shí)現(xiàn)對(duì)光刻機(jī)機(jī)電系統(tǒng)設(shè)計(jì)方案的仿真、分析與優(yōu)化,提高光刻機(jī)的開(kāi)發(fā)效率,縮短設(shè)計(jì)周期。本文主要開(kāi)展了以下工作:首先,研究了光刻機(jī)機(jī)電系統(tǒng)設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)流程,總結(jié)了一套動(dòng)力學(xué)驅(qū)動(dòng)的光刻機(jī)機(jī)電系統(tǒng)設(shè)計(jì)流程。提出了一種具有可拓展性強(qiáng),穩(wěn)定高效等特點(diǎn)的軟件開(kāi)發(fā)技術(shù)路線。接著設(shè)計(jì)了軟件架構(gòu)和工作流程,確定了實(shí)現(xiàn)參數(shù)化建模及動(dòng)力學(xué)分析功能的軟件開(kāi)發(fā)關(guān)鍵點(diǎn)。然后,針對(duì)光刻機(jī)機(jī)電系統(tǒng)等關(guān)鍵單元和獨(dú)立子系統(tǒng),分析其在光刻機(jī)機(jī)電系統(tǒng)下的工作動(dòng)態(tài)特性,抽象出參數(shù)化建模模板,構(gòu)建光刻機(jī)專業(yè)模板庫(kù),在模板庫(kù)的支持下設(shè)計(jì)軟件關(guān)鍵的參數(shù)化建模和動(dòng)力學(xué)分析優(yōu)化功能基于腳本的實(shí)現(xiàn)方式。最后,設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)了... 

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【文章頁(yè)數(shù)】：86 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

L型構(gòu)型XY運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

華 中 科 技 大 學(xué) 碩 士 學(xué) 位 論 文圖 3.1 氣浮支承導(dǎo)向的單自由度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)由于其光刻機(jī)機(jī)電系統(tǒng)為平臺(tái)式結(jié)構(gòu)，為了實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)預(yù)期的運(yùn)動(dòng)，必須設(shè)計(jì)導(dǎo)軌進(jìn)導(dǎo)向，因此導(dǎo)軌的布置型式成為其結(jié)構(gòu)關(guān)鍵組件設(shè)計(jì)的重要指標(biāo)。目前常采用的導(dǎo)軌置型式有“L”型導(dǎo)軌、 “十”字型導(dǎo)軌、“H”型導(dǎo)軌、“口”型導(dǎo)軌，如圖 3.2 到 3.5 所示。支承氣浮組V導(dǎo)向氣浮組HXY

圖 3.1 氣浮支承導(dǎo)向的單自由度運(yùn)動(dòng)平臺(tái)由于其光刻機(jī)機(jī)電系統(tǒng)為平臺(tái)式結(jié)構(gòu)，為了實(shí)現(xiàn)系統(tǒng)預(yù)期的運(yùn)動(dòng)，必須設(shè)計(jì)導(dǎo)軌進(jìn)導(dǎo)向，因此導(dǎo)軌的布置型式成為其結(jié)構(gòu)關(guān)鍵組件設(shè)計(jì)的重要指標(biāo)。目前常采用的導(dǎo)軌置型式有“L”型導(dǎo)軌、 “十”字型導(dǎo)軌、“H”型導(dǎo)軌、“口”型導(dǎo)軌，如圖 3.2 到 3.5 所示。圖 3.2 L 型構(gòu)型 XY 運(yùn)動(dòng)平臺(tái) 圖 3.3 “十”字型構(gòu)型 XY 運(yùn)動(dòng)平臺(tái)X

【參考文獻(xiàn)】：
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[7]光刻機(jī)精密氣浮工件臺(tái)的振動(dòng)特性分析及運(yùn)動(dòng)控制[D]. 鮑秀蘭.華中科技大學(xué) 2007
[8]面向機(jī)械系統(tǒng)動(dòng)力學(xué)建模的模型描述語(yǔ)言研究[D]. 江繼都.華中科技大學(xué) 2006
[9]虛擬樣機(jī)中運(yùn)動(dòng)副約束識(shí)別技術(shù)及其在性能分析中的應(yīng)用研究[D]. 張寧寧.浙江大學(xué) 2005



本文編號(hào)：3013588